ウエハーフォーク
私たちのウエハーフォークは、6インチ、8インチ、12インチのウエハーに対応するように設計されており、安定した安全な取り扱いを確保し、滑りや落下を防ぎます。高耐摩耗性材料で作られており、耐久性とグリッピング精度を向上させ、長期的な信頼性を確保し、クリーンルーム環境や精密製造に最適です。
EFEMや自動化機器、ロードポート、エッチングなどのアプリケーションにおいて、ウェーハフォークは不可欠なウェーハハンドリングツールです。私たちは、安全なウェーハ転送を確保し、破損リスクを最小限に抑え、歩留まりを改善するために、最適化された表面処理と高安定性のクランプ設計を提供しています。さらに、ウェーハのグリッピング中の安定性と精度を向上させるために、真空チャネルの設計と製造をお手伝いし、高度な製造要件を満たすためにハンドリング効率をさらに最適化することができます。
特定のプロセス環境に合わせた材料相談サービスも提供しており、最適なウエハーフォークを選ぶお手伝いをします。下記のフォームからお気軽にお問い合わせください。できるだけ早くご連絡いたします。
製品の用途
EFEM、自動ロボットアーム、ロードポート、エッチング、その他の半導体プロセス
製品の利点
- 高効率真空吸引:工場出荷時の真空圧は約-70kPaで、安定したグリッピングを確保し、ウェーハの滑りや落下を防ぎます。
- 軽量:軽量材料で作られており、機器の負荷を軽減し、ロボットアームの操作効率を向上させます。
- 安定したグリッピング:精密に設計された真空流路がウェーハ取り扱い中の力の分布を均一にし、破損のリスクを減少させます。
- 高耐久性:耐摩耗性材料で構成されており、長期間の高頻度使用に適しており、機器の寿命を延ばします。
- クリーンルーム互換性:最適化された表面処理により粒子汚染が最小限に抑えられ、プロセスの安定性が確保されます。
- カスタマイズ可能なデザイン:真空流路とグリッピングメカニズムは、特定の要件に基づいて調整可能で、機器の互換性を向上させます。
製品仕様とオプション
- 材料:アルミニウム合金、チタン合金、モリブデン
- ウェーハサイズ:150mm(6インチ)、200mm(8インチ)(100mm(4インチ)および300mm(12インチ)のカスタマイズはリクエストに応じて可能)
- 真空フローチャンネル:ウェーハ吸引要件に基づいてカスタム設計
- 表面コーティング:陽極酸化、ハード陽極酸化、PTFEコーティング
アプリケーションニーズに基づいてカスタマイズサービスが利用可能です。お問い合わせはお気軽にどうぞ!
その他のフォークタイプ(サポートタイプウェーハフォーク)
真空ウェーハフォーク - 精密設計 6インチ、8インチ、12インチのウェーハに対応し、安定した取り扱いを確保し、滑りや落下を防ぎます。 | PEEK & PIプラスチックCNC加工メーカー | Shen-Yueh (SYT)
2006年から台湾に位置するShen-Yueh Technology Co., Ltd.は、金属加工業界におけるCNCプラスチックおよび金属加工の製造業者です。 彼らの主なCNC加工供給品には、ウェーハフォーク、CNCプラスチック加工、エアナイフ製品、PEEKプラスチック加工と製造、CNC金属加工、ポリイミド(PI)プラスチックCNC加工とフライス加工、そしてベアリングが含まれ、拡張された生産能力、短いリードタイム、より良い顧客サービスと共に提供されます。
Shen-Yuehは、10年以上の経験を持つCNC専門技術者チームと協力する半導体機器および機械設計の人員で構成されています。 生産プロセスはISOに従い、クリーンな工場環境で実施され、優れた専門的なコンサルテーションとサービスを提供します! 私たちは半導体およびパネル産業におけるCNC部品加工と設備変換の経験に注力しています(2006年から)。 10年以上にわたり、私たちはデザイン、開発、組織の最適化の問題を解決し、部品のライフサイクルを延ばし、多くの顧客のコストを削減し、顧客の開発時間を短縮するために迅速に製造サンプルを提供してきました。
Shen-Yueh (SYT)は、半導体製造部門、パネル、総合産業向けに高品質な設備部品の製造を提供しており、先進的なエンジニアリング技術と13年の経験を持っています。Shen-Yueh (SYT)は、各顧客の要求が満たされることを保証します。




