クリーンルームジグと測定ソリューション
クリーンルームの非金属ジグ開発に特化し、精密測定からプロセスアプリケーションまでをカバーしています。
クリーンルーム用の非金属ジグと測定ソリューションの開発に注力しています。
ジグや測定ツールは機器の主要部品ではありませんが、キャリブレーションの精度やメンテナンス後のプロセスの歩留まりにおいて重要な役割を果たします。金属ツールは粒子、金属汚染、ウェーハの傷、静電気放電（ESD）のリスクを引き起こす可能性があります。
私たちのソリューションは、実際のエンジニアリングの使用例とファブの要件に基づいて設計されています。
適切な材料選定と実用的なジグ設計を通じて、傷、粒子生成、金属汚染を減少させ、安定した信頼性のあるクリーンルーム運用をサポートします。
私たちのサービス範囲
私たちは、設計、加工、エンジニアリングサポートを含むワンストップのクリーンルーム治具および測定ソリューションを提供しています。
半導体機器のメンテナンスおよび測定シナリオに基づき、クリーンルーム環境に適した非金属治具および測定工具（治具 / フィクスチャ）を開発し、機器のキャリブレーション、メンテナンス、およびプロセス関連の操作をサポートします。
0.1 mmクラスの薄型プラスチックゲージのCNC加工経験を活かし、当社の工具はマイクロギャップ測定や機器調整作業に適しており、金属工具に一般的に伴う傷や干渉リスクを軽減します。
異なるプロセス条件に基づき、PEEK、PTFE、PI / Vespelなどの非金属材料の評価と推奨を提供し、高温、湿潤プロセス、またはESDに敏感な環境に適しています。
設備の構造、運用フロー、測定要件に応じて、カスタムジグ設計および小ロット生産サービスを提供し、R&Dテスト、メンテナンス作業、プロセス実施段階をサポートします。
測定関連の治具について、必要な寸法検査を行い、クリーンルームの使用要件に基づいてレーザーマーキングまたは機械彫刻を提供し、製品管理と基本的なトレーサビリティをサポートします。
コアの利点（なぜSY-Techなのか？）
1. 半導体装置のバックグラウンドを持つエンジニアリングチーム
私たちのチームは半導体機器に関する実務経験があり、加工要件だけでなく、Oリングの取り外し方法、隙間測定の取り扱い、チャンバー内の操作条件など、実際のPMメンテナンスワークフローも理解しています。私たちは、顧客が治具の構造と材料の選定を最適化し、試行錯誤のコストを削減し、標準メンテナンス手順（SOP）の確立を支援します。
2. 0.1 mmクラスのCNC精密プラスチック加工能力
私たちは、PEEKやVespelなどの高性能プラスチックのCNC加工を専門としており、0.1 mmクラスの薄いゲージの製造経験があります。市販のスタンプゲージと比較して、より安定した寸法管理と大きな加工柔軟性を提供し、金属工具に関連する傷のリスクを減らしながら、マイクロギャップ測定アプリケーションに適しています。
3. プロセス特有の非金属材料選定
異なるプロセス環境に対して、ESD対応のPEEK、化学的に耐性のあるPTFE、高温用のPI（Vespel）など、幅広い非金属材料の選択肢を提供しています。単一の窓口を通じて、顧客はさまざまなプロセス条件下での材料の適合性を評価でき、金属治具を使用する際の潜在的なリスクを軽減します。
4. カスタムデザインと柔軟なリードタイムサポート
私たちは標準仕様や最小注文数量に制限されません。設備の構造や実際の運用ニーズに基づいて、ロングハンドル、角度付き、または特別な形状の治具設計を提供します。研究開発のプロトタイピングやメンテナンスニーズのための少量生産に関しても、私たちは柔軟に顧客のスケジュールをサポートします。
5. 品質検査と製品識別管理
薄いゲージ製品については、寸法検査が光学測定システムを使用して行われます。製品の識別は、材料や使用環境に基づいてレーザーマーキングまたは機械彫刻を通じて行われ、インクの汚染を避け、クリーンルームおよび基本的なトレーサビリティ要件を満たします。
一般的なプロセスの課題を解決する
私たちは、製造環境における金属工具によって引き起こされる技術的な課題に対して、エンジニアリングソリューションを提供します:
| 現場での一般的な課題 | 私たちのエンジニアリングソリューション |
|---|---|
| 金属ゲージによるコーティングやウエハーの傷 | PEEKフィーラーゲージ: Utilize hardness differentials to ensure measurement contact without damaging workpiece surfaces. |
| Oリング取り外し時のシール溝への損傷 | PEEK取り外し治具: Designed with specific hook geometries to concentrate force on the O-ring while protecting metal grooves. |
| 高温メンテナンス中の工具の故障 | PEEK / PIドライバー: High heat deflection temperature (HDT) materials maintain mechanical rigidity in 260°C–300°C environments. |
| 敏感なコンポーネントへの静電気損傷 | ESDツール: Controlled surface resistivity safely dissipates electrostatic charges. |
| 酸性環境によるツールの腐食 | PTFEツール: Fluoropolymer chemical inertness eliminates oxidation and corrosion issues. |
| 測定のためのアクセスできないマイクロデッドゾーン | カスタムCNC加工: Multi-axis CNC machining enables special shapes and long-reach gauges to overcome geometric limitations. |
適用業界およびアプリケーションモジュール
半導体のフロントエンドおよびバックエンドプロセスに焦点を当て、モジュール式の非金属治具サポートを提供します:
エッチング、PVD、CVDを含む。シャワーヘッドの隙間測定、Oリングの交換、ライナーの取り外しツールを提供します。
拡散炉を含む。高温耐性の測定および固定工具を提供します。
ウェットベンチ/クリーニングを含む。酸およびアルカリ耐性のドライバー、ウェーハハンドリング治具、ノズルアライメントツールを提供します。
リソグラフィーおよびソーターシステムを含む。ロボットアライメントステップゲージ、カセット検査治具、ESD保護ツールを提供します。
📘 ケーススタディ：測定の安定性と効率の向上
お問い合わせ / 相談のリクエスト
もし金属磁気干渉に直面している場合や、クリーンルーム用の治具および測定アプリケーションのために迅速なカスタム治具開発が必要な場合は、SY-Techまでお気軽にお問い合わせください。
以下のフォームにご記入いただければ、できるだけ早くご連絡いたします。
✉️ メール：service@sy-tech.com.tw
厳格な製造プロセスとエンジニアリングプラスチックの専門知識を持ち、プロセスの安定性と設備の信頼性を向上させるための信頼できるエンジニアリングパートナーとして、私たちは一貫して設備のキャリブレー
