VESPELシリーズ
半導体機器向けの高性能Vespelエンジニアリングプラスチックコンポーネントに特化
Shen-Yuehは、半導体装置向けに設計された高品質のVespel加工サービスを提供しており、高温、真空、プラズマ、化学耐性、低粒子条件下での安定した性能を保証します。私たちのソリューションは、ウェーハハンドリング、フォトマスク操作、エッチング、薄膜、CMPプロセスにおける信頼性と生産性の向上に寄与します。
製品の特徴:
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カスタマイズされた加工能力
顧客の図面に基づく製造またはサンプルからの逆エンジニアリング。半導体の精度と清浄度の要件を満たすために、複数のVespelグレード(SP-1 / SP-21 / SP-22 / SP-211 / CRシリーズ)が利用可能です。 -
高温耐性と化学的耐久性
真空チャンバー、熱処理、プラズマ環境に適しています。高温、酸/アルカリ、化学ガスへの長期曝露に耐え、安定した動作を保証します。 -
低粒子およびクリーンルーム互換性
半導体グレードのVespel材料を使用し、精密加工、微細な面取り、クリーンパッケージングを組み合わせて、厳格なクリーンルームおよび高純度プロセス要件を満たし、汚染リスクを最小限に抑えます。
アプリケーション:
- フォトマスク&光学治具:フォトマスクピック、サポートブロック
- ウェーハハンドリング:ウェーハピン、パッド、位置決めコンポーネント
- 真空/熱プロセス:絶縁スペーサー、治具スペーサー
- エッチング/薄膜/CVD/PECVD/エッチングプロセスコンポーネント
- CMPプロセス:保持リング、サポート治具
- 半導体およびパネル産業向けの高純度化学抵抗コンポーネント
Shen-YuehのVespel半導体コンポーネントを選択することで、プロフェッショナルな加工と完全にカスタマイズされたソリューションの利点を得ることができます。これにより、プロセスの信頼性が向上し、部品の寿命が延び、より正確で効率的な生産ワークフローのためのテスト時間が短縮されます。
VESPELプラスチック加工
私たちは、特に高温、高真空、低粒子環境で動作する半導体装置に使用される重要なコンポーネントのためのVespel®エンジニアリングプラスチックの精密加工を専門としています。さまざまなVespelグレードに関する深い知識を持ち、試作から本格生産まで顧客をサポートするために、実績のある加工専門知識と厳格なプロセス管理を提供し、精度、安定性、材料性能の面で高度なプロセスの高い基準を満たしています。 当社のVespel加工サービスについて詳しく知りたい場合は、下のフォームを使用してお問い合わせください。私たちは、献身的にお手伝いするためにここにいます。
詳細VESPELガスフローコンポーネント
半導体プラズマプロセス用高温VESPEL / PEEKガスフローコンポーネント
当社のガスフローコンポーネント(Scm、プラズマ、デュアルガス)は、LAMプラズマプロセス環境での使用を目的とした小型のガス誘導部品です。顧客の要件に応じて、DuPont™...
詳細Vespelリングコンファインメント
私たちは、プラズマエッチャー、CVD装置、ALD装置などの半導体プロセス機器に適した電極絶縁リング(絶縁リング/シールドリング)の専門的な製造とカスタマイズ加工サービスを提供しています。 各製品は、異なるチャンバー構造やプロセス要件に合わせて調整できます。優れた高温断熱性、プラズマ耐性、化学的耐久性を備えた当社の断熱リングは、電場を効果的に隔離し、プロセスゾーンを安定させ、機器の寿命を延ばします。 以下のフォームにご記入いただき、お問い合わせください。ニーズに合わせた相談とサポートを迅速にお届けします。
詳細Vespelウエハガイド
私たちのヴェスぺルウエハーガイドは、デュポン™ ヴェスぺル® 材料で作られており、高温、プラズマ、真空プロセスでのガイディングアプリケーションに特別に設計されています。...
詳細VESPEL SP-1スクリュー
私たちのVespel SP-1スクリューは、高純度のVespel材料で作られており、優れた熱安定性、低い粒子生成、高い寸法精度を提供します。高い清浄度と最小限の汚染が求められる半導体用途に最適です。SP-1グレードは、真空チャンバー、プラズマゾーン、高温エリア、フォトマスク取り扱い、ウェハ転送コンポーネントにおいて信頼性のある性能を維持します。
詳細VESPEL SP-21 スクリュー
私たちのVespel SP-21ネジは、グラファイト充填の耐摩耗グレードで作られており、低摩擦、低摩耗、優れた高温安定性を提供します。特に、滑らかなスライドと粒子生成の低減を必要とする半導体コンポーネントに適しています。SP-1と比較して、SP-21はスライディングまたは繰り返し接触エリアでの性能が向上しています。
詳細VESPEL SCP-5000 スクリュー
私たちのVespel SCP-5000スクリューは、強化されたプラズマ耐性のVespel材料で作られており、低い摩耗率、優れた耐腐食性、そして過酷な環境下での高い熱安定性を提供します。フッ素、酸性ガス、エッチング媒体、腐食性洗浄プロセスにさらされるアプリケーションに最適で、一般的なエンジニアリングプラスチックよりも長いサービス寿命を保証します。
詳細VESPELシリーズ | CNC金属およびプラスチックCNC加工メーカー | Shen-Yueh (SYT)
台湾に位置するShen-Yueh Technology Co., Ltd.は、2006年以来、金属加工業界でCNCプラスチックおよび金属加工メーカーとして活動しています。 彼らの主なCNC加工供給品には、VESPELシリーズ、CNCプラスチック加工、エアナイフ製品、PEEKプラスチック加工と製造、CNC金属加工、ポリイミド(PI)プラスチックCNC加工とフライス加工、そしてベアリングが含まれ、拡張された生産能力、短いリードタイム、より良い顧客サービスと共に提供されます。
Shen-Yuehは、CNCの専門技術者チームと協力している半導体装置と加工設計の人材で構成されており、10年以上の経験を持っています。 生産プロセスはISOに準拠し、清潔な工場環境で行われ、優れた専門的な相談とサービスを提供しています! 私たちは、半導体およびパネル産業におけるCNC部品加工と設備改造の経験に焦点を当てています(2006年以来)。 10年以上にわたり、デザイン、開発、組織の最適化の問題を解決し、部品の寿命を延ばし、多くのお客様のコストを削減し、製造サンプルを迅速に提供してお客様の開発時間を短縮してきました。
Shen-Yueh (SYT)は、先進のエンジニアリング技術と13年の経験を持ち、半導体製造部門、パネルおよび総合産業向けに高品質な機器部品の製造を提供しています。Shen-Yueh (SYT)は、お客様の要求を満たすことを保証します。











