ウエハ厚さゲージ
当社は、主にウエハのギャップを測定するために使用されるPEEKプラスチック製のウエハギャップ測定ツール（ウエハジグ）を製造しており、ギャップの厚さの選択肢は0.1〜3.0mmまであります。当社の測定ツールは、正確なウエハギャップの精度を満たすために特別に設計されています。 当社の素材の利点には、240度までの耐高温性、優れた化学耐性、摩擦係数の低さ、ウエハーの傷防止が含まれています。 PEEKに加えて、他の材料の選択肢やカスタマイズされたサイズの推奨も提供しており、特定のアプリケーションニーズに基づいて最適な選択をすることができます。メールでお問い合わせいただければ、すぐにご連絡いたします。
詳細
VESPELガスフローコンポーネント
半導体プラズマプロセス用高温VESPEL / PEEKガスフローコンポーネント
当社のガスフローコンポーネント（Scm、プラズマ、デュアルガス）は、LAMプラズマプロセス環境での使用を目的とした小型のガス誘導部品です。顧客の要件に応じて、DuPont™...
詳細
ウエハーエンドエフェクター
Shen-Yuehによって製造されたウエハーエンドエフェクターは、半導体製造中にウエハーを処理するために使用されるアームであり、ウエハーの挿入、転送、反転、配置、積み重ねなどの重要な操作を正確に処理することができます。耐摩耗性、耐腐食性、高温材料を使用して、極端なプロセス環境での長期的な効果的な運用を確保することができます。 少量生産に加えて、お客様のニーズに基づいた環境に適したカスタマイズサイズソリューションも提供できます。以下のフォームに記入してお問い合わせください。
詳細
金属ディスク / 磁気リング
金属ディスク/磁気リングは、磁気サスペンションによって支えられたシャフトやピストンを通じて使用され、摩耗、ほこり、振動、騒音を低減するだけでなく、他の物体の腐食を引き起こす酸性ガスの漏れも低減します。磁気サスペンションは低回転速度と持続時間の動作要件を満たします。 室温ではPVC材料を、高温ではSUS材料を使用することをお勧めします。
詳細