ウエハ厚さゲージ
私たちは、主にウェーハの隙間を測定するために使用されるPEEKプラスチック製のウェーハギャップ測定ツール(ウェーハジグ)を製造しており、隙間の厚さは0.1mmから3.0mmまでの選択肢を提供しています。私たちの測定ツールは、正確なウェーハギャップの精度に対する要件を満たすように特別に設計されています。 当社の材料の利点には、240度セルシウスまでの高温耐性、優れた化学抵抗、低摩擦係数、ウエハの傷防止が含まれます。 PEEKに加えて、他の材料の選択肢やカスタマイズされたサイズの推奨も提供しており、特定のアプリケーションニーズに基づいて最適な選択を行うことができます。メールでのお問い合わせをお待ちしております。すぐにご連絡いたします。
詳細VESPELガスフローコンポーネント
半導体プラズマプロセス用の高温VESPEL / PEEKガスフローコンポーネント
当社のガスフローコンポーネント(Scm、プラズマ、デュアルガス)は、LAMプラズマプロセス環境での使用を目的とした小型のガス誘導部品です。顧客の要件に応じて、DuPont™...
詳細ウエハーエンドエフェクター
Shen-Yuehによって製造されたウェーハエンドエフェクタは、半導体製造中にウェーハを処理するために使用されるアームであり、ウェーハの挿入、転送、反転、配置、積み重ねなどの重要な操作を正確に処理することができます。耐摩耗性、耐腐食性、高温材料を使用することで、過酷なプロセス環境において長期的に効果的な操作を確保できます。 少量生産に加えて、お客様のニーズに基づいた環境に適したカスタマイズサイズソリューションも提供できます。以下のフォームに記入してお問い合わせください。
詳細金属ディスク / 磁気リング
金属ディスク/磁気リングは、摩耗、ほこり、振動、騒音を減少させるだけでなく、他の物体の腐食を引き起こす酸ガスの漏れを減少させるために、磁気浮上によって支持されたシャフトやピストンを通じて使用されます。磁気浮上は、低回転速度と持続時間の運転要件を満たしています。 室温ではPVC材料を、高温ではSUS材料を使用することをお勧めします。
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