ウェハーエンドエフェクター
Shen-Yuehによって製造されたウエハーエンドエフェクターは、半導体製造中にウエハーを処理するために使用されるアームであり、ウエハーの挿入、転送、反転、配置、積み重ねなどの重要な操作を正確に処理することができます。耐摩耗性、耐腐食性、高温材料を使用して、極端なプロセス環境での長期的な効果的な運用を確保することができます。 小ロット生産に加えて、お客様のニーズに基づいて環境に適したカスタマイズされたサイズのソリューションも提供できます。以下のフォームに記入してお問い合わせください。
詳細金属ディスク / 磁気リング
金属ディスク/磁気リングは、磁気サスペンションによって支えられたシャフトやピストンを通じて使用され、摩耗、ほこり、振動、騒音を低減するだけでなく、他の物体の腐食を引き起こす酸性ガスの漏れも低減します。磁気サスペンションは低回転速度と持続時間の動作要件を満たします。 室温ではPVC材料を、高温ではSUS材料を使用することをお勧めします。
詳細TFT-LCDスプレーパイプ
Shen-Yuehのスプレーパイプは、主にパネル産業の開発タンクや洗浄セクションに取り付けられています。さまざまな形状のノズルとパイプを使用し、トラフ内のスプレーヘッドは伝達機構に行列状に配置され、液体が製品表面に均等に噴霧され、パネルが湿った状態を保ちます。 お客様のニーズに応じて、スプレーパイプにはステンレス鋼や耐酸アルカリ性(エッチング溝)クリーンPVC材料など、異なる材料を使用することができます。これは高温プロセスに適しています。
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