シリコンカーバイド部品
SICセラミック部品は高い耐摩耗性を持ち、高硬度、強い酸およびアルカリ耐性、そして焼結時に1300〜1500度の高温耐性があります。表面は鏡面仕上げ加工が可能で、化学プロセスにおける化学結晶の生成と残留を減少させます。滑り部品や、滑らかな表面を持つ耐摩耗性の機械シールの重要な部品として一般的に使用されます。
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プラスチック製ハンドヘルドウエハーピック
このハンドヘルドプラスチックPEEKウエハーピックは、ハンドヘルドウエハー検査のためのツールとして使用されます。これは、ウエハーを非真空環境で保持することが特徴です。金属製のピンセットと比較して、ウエハーピックは260℃の高温環境で使用でき、使用時にウエハーが傷つくことはありません。また、エッジが破損する確率も低減します。
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ウエハーフォーク
私たちのウエハーフォークは、6インチ、8インチ、12インチのウエハーに対応するように設計されており、安定した安全な取り扱いを確保し、滑りや落下を防ぎます。高耐摩耗性材料で作られており、耐久性とグリッピング精度を向上させ、長期的な信頼性を確保し、クリーンルーム環境や精密製造に最適です。 EFEMや自動化機器、ロードポート、エッチングなどのアプリケーションにおいて、ウェーハフォークは不可欠なウェーハハンドリングツールです。私たちは、安全なウェーハ転送を確保し、破損リスクを最小限に抑え、歩留まりを改善するために、最適化された表面処理と高安定性のクランプ設計を提供しています。さらに、ウェーハのグリッピング中の安定性と精度を向上させるために、真空チャネルの設計と製造をお手伝いし、高度な製造要件を満たすためにハンドリング効率をさらに最適化することができます。 特定のプロセス環境に合わせた材料相談サービスも提供しており、最適なウエハーフォークを選ぶお手伝いをします。下記のフォームからお気軽にお問い合わせください。できるだけ早くご連絡いたします。
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導電性/ESD防止エンジニアリングプラスチック加工
Shen-Yuehは、半導体およびパネル産業で静電気放散が必要とされる導電性/ESDエンジニアリングプラスチック加工のサービスを提供しています。2つの絶縁製品が摩擦によって離れると静電気放電が発生する可能性があり、これが製品を損傷させることがありますが、導電性/ESDエンジニアリングプラスチックは静電気放電による損傷を防ぎ、製品の歩留まりを向上させることができます。 私たちは、導電性/ESDプラスチック材料に関する専門情報、相談、指導を提供しています。下のフォームからお気軽にお問い合わせください。
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静電チャックカバー
私たちは、TEL、LAMリサーチ、アプライドマテリアルズなどのブランドに対応した静電チャックカバーの製造を専門としています。この製品は、下部電極を損傷から効果的に保護し、外部干渉を防ぐために特別に設計されており、電極エリアの完全性を確保します。操作エラーのリスクを減らすことで、このカバーは顧客が機器をより効率的に維持できるよう支援し、ダウンタイムを大幅に最小限に抑えます。 さらに、私たちは異なる環境、サイズ、材料に合わせたカスタマイズサービスを提供しており、小口注文のリクエストも受け付けています。詳細情報やさらなる相談については、以下のフォームにご記入いただき、お問い合わせください。
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Vespelリングコンファインメント
私たちは、プラズマエッチャー、CVD装置、ALD装置などの半導体プロセス装置に適した電極絶縁リング（絶縁リング/シールドリング）の専門的な製造とカスタマイズ加工サービスを提供しています。 各製品は、異なるチャンバー構造やプロセス要件に合わせて調整できます。優れた高温断熱性、プラズマ耐性、化学的耐久性を備えた当社の断熱リングは、電場を効果的に隔離し、プロセスゾーンを安定させ、機器の寿命を延ばします。 以下のフォームにご記入いただき、お問い合わせください。ニーズに合わせた相談とサポートを迅速にお届けします。
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