ESC Water Manifold(Ultem)
ESC Water Manifold(0040-48770)为AMAT 300mm HDP-CVD 系统中使用的Ultem(PEI)高洁净工程塑胶零件,以CNC 精密加工制成。此零件具备稳定的几何尺寸与干净的加工界面,适用于CVD 制程环境中的组件支撑、隔离、定位或介面结构用途。
产品应用
- AMAT 300mm HDP-CVD 系统用塑胶零件
- 用于模组内的支撑、固定、隔离、定位
- 适合高温、高洁净、具化学性的CVD 制程环境
- 非金属结构件,降低金属污染风险
产品优点
- 高洁净等级,适用关键制程
- 尺寸稳定,不易变形
- 耐化学性佳,应对CVD 腐蚀环境
- 孔位、倒角加工干净利落
- 半透明材质便于检视与品管
- 可作为原装替代件或客制化制作
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