VESPEL系列 | 台湾高品质VESPEL系列制造商 | 申玥科技股份有限公司
申玥科技是台湾专业制造VESPEL系列及提供VESPEL系列服务的优良厂商(成立于西元2006年)申玥科技即是由具有半导体设备及机械加工设计的人员组成，配合经验超过10年的CNC专业技师团队，以及符合ISO精神的生产流程及干净整洁的工厂环境，提供绝佳的专业咨询与服务！自2006年成立至今已经服务超过上百家客户，产业包含半导体、光电、生医、太阳能及其他传统产业。 .
SHEN-YUEH可针对半导体环境客制化vespel零件
VESPEL系列
专注提供高性能Vespel 工程塑胶零件，满足半导体制程设备需求
SHEN-YUEH 提供高品质Vespel 加工服务，专为半导体设备环境设计，能在高温、真空、电浆、耐化学与低粒子条件下稳定运作，协助您提升晶圆搬运、光罩处理、蚀刻、薄膜与研磨制程的可靠性与产能。
产品特色：
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客制化加工能力
依照客户图面或样品逆向制作，可提供多样Vespel 等级（SP-1 / SP-21 / SP-22 / SP-211 / CR 系列），符合半导体制程精度与洁净需求。 -
高温耐受与耐腐蚀性
适用于真空腔体、热制程与电浆制程环境，可承受长时间高温、酸碱与化学气体，确保长期稳定运作。 -
低粒子、洁净制程适用
精选半导体等级Vespel 材料，并提供精密加工、细致倒角与洁净包装，满足无尘室与高洁净制程要求，降低污染风险。
应用范围：
- 光罩/光学治具：Photomask Pick、支撑座
- 晶圆搬运：Wafer Pin、Pad、定位件
- 真空/热制程：隔热垫片、治具Spacer
- 蚀刻/ 薄膜/ CVD / PECVD / Etch 工程零件
- CMP 制程：Retaining Ring / 支撑治具
- 半导体及面板产业高纯度耐化学应用
选择SHEN-YUEH 的Vespel 半导体应用零件，透过专业加工与客制方案，协助您提升制程可靠度、延长耗材寿命并缩短测试时间，让生产流程更精准、更高效。
VESPEL CR6100工程塑胶加工
我们专注于VESPEL CR6100塑胶加工，为半导体行业提供量身定做的解决方案。我们在客制化方面的专业知识，能够满足精确规格，提高半导体设备的性能和可靠性。 也欢迎填写以下联系表单或者来信与我们联系，我们将尽快为您服务。
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Wafer Clamp Ring
申玥制造的晶圆固定环(Vespel Clamp Ring)使用在干蚀刻的Applied(AMAT)机台中，晶圆固定环提供安全的晶圆固定力，确保您的晶圆(wafer)可以稳定的在固定的位置上，保证制程的稳定性。 并且我们使用DuPont...
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耐高温制程用晶圆导引片
我们制造的Vespel Wafer Guide（晶圆导引片） 采用杜邦Vespel® 材质，专为高温、电浆与真空制程下的导引零件需求设计。具备极佳热稳定性、抗化学性与低摩擦特性，可降低particle...
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VESPEL SP-1螺丝
我们制作的Vespel SP-1 螺丝(Screw)，采用高洁净等级的Vespel 原材制作，具备优异的高温稳定性、低粒子特性与良好尺寸精准度，适合需要高洁净、低污染的半导体固定需求。 在真空腔体、电浆环境、高温区段、光罩处理与晶圆搬运相关部位中，SP-1...
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VESPEL SP-21螺丝
我们制作的Vespel SP-21 螺丝(Screw)，为含石墨的耐磨耗等级材料，具有低摩擦、低磨耗与耐高温特性，特别适合需要降低刮伤、减少粉化与存在接触动作的半导体设备。 相较SP-1，SP-21...
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VESPEL SCP-5000螺丝
我们制作的Vespel SCP-5000 螺丝(Screw)，采用强化型耐电浆Vespel 材料，在腐蚀性环境中具备低侵蚀速率、耐腐蚀与高温稳定的特性。 特别适合接触含氟气体、酸性气体、蚀刻介质与腐蚀性清洗制程，可提供比一般工程塑胶更长的使用寿命。
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