ESC Water Manifold(Ultem)
ESC Water Manifold(0040-48770)為 AMAT 300mm HDP-CVD 系統中使用的 Ultem(PEI)高潔淨工程塑膠零件,以 CNC 精密加工製成。此零件具備穩定的幾何尺寸與乾淨的加工界面,適用於 CVD 製程環境中的組件支撐、隔離、定位或介面結構用途。
產品應用
- AMAT 300mm HDP-CVD 系統用塑膠零件
- 用於模組內的支撐、固定、隔離、定位
- 適合高溫、高潔淨、具化學性的 CVD 製程環境
- 非金屬結構件,降低金屬汙染風險
產品優點
- 高潔淨等級,適用關鍵製程
- 尺寸穩定,不易變形
- 耐化學性佳,應對 CVD 腐蝕環境
- 孔位、倒角加工乾淨利落
- 半透明材質便於檢視與品管
- 可作為原裝替代件或客製化製作
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