ESC定位PIN
我们制作的ESC定位Pin,主要应用于半导体设备中的Electrostatic Chuck(静电吸盘)系统,用于晶圆放置时的精准定位与重复对位,协助晶圆在制程过程中维持稳定位置,降低偏移风险,提升制程一致性与良率。
我们在设计与加工时,会依据实际设备结构与使用条件进行评估,兼顾定位精度、耐用性与长时间运作的稳定表现,适用于高洁净、高重复精度需求的半导体制程环境。
产品优点
- 高精度定位:我们制作的定位Pin 严格控管尺寸公差,确保晶圆于ESC 上具备良好的重复定位准确性。
- 结构稳定、耐用性佳:设计可因应长时间运作与热循环条件,不易因机械应力或环境变化而影响定位稳定度。
- 多材质搭配设计:我们可依需求采用金属本体搭配工程塑胶端部,兼顾结构强度与晶圆接触面保护,降低边缘风险。
- 适用高洁净制程:加工与表面处理可配合半导体设备洁净度要求,协助降低制程污染风险。
- 支援客制化设计:我们可依ESC 结构、晶圆尺寸与设备规格,提供尺寸、材质与结构上的客制化建议。
产品应用
- 半导体制程设备用Electrostatic Chuck
- 晶圆定位、导引与防偏移结构
- 设备维修、更换与制程优化用零组件
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