ESC定位PIN
我們製作的ESC定位 Pin,主要應用於半導體設備中的 Electrostatic Chuck(靜電吸盤)系統,用於晶圓放置時的精準定位與重複對位,協助晶圓在製程過程中維持穩定位置,降低偏移風險,提升製程一致性與良率。
我們在設計與加工時,會依據實際設備結構與使用條件進行評估,兼顧定位精度、耐用性與長時間運作的穩定表現,適用於高潔淨、高重複精度需求的半導體製程環境。
產品優點
- 高精度定位:我們製作的定位 Pin 嚴格控管尺寸公差,確保晶圓於 ESC 上具備良好的重複定位準確性。
- 結構穩定、耐用性佳:設計可因應長時間運作與熱循環條件,不易因機械應力或環境變化而影響定位穩定度。
- 多材質搭配設計:我們可依需求採用金屬本體搭配工程塑膠端部,兼顧結構強度與晶圓接觸面保護,降低邊緣風險。
- 適用高潔淨製程:加工與表面處理可配合半導體設備潔淨度要求,協助降低製程污染風險。
- 支援客製化設計:我們可依 ESC 結構、晶圓尺寸與設備規格,提供尺寸、材質與結構上的客製化建議。
產品應用
- 半導體製程設備用 Electrostatic Chuck
- 晶圓定位、導引與防偏移結構
- 設備維修、更換與製程優化用零組件
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