PEEK OTF Calibration Spindle
PEEK OTF Calibration Spindle(0270-0349)为AMAT设备上常用的校正零件,采用高洁净工程塑胶PEEK 精密加工制成。此零件主要用于OTF模组的定位、校准与设备状态确认,协助工程师在关键制程中维持稳定与一致的量测精度。 PEEK 具备优异的耐热性、耐化学性与低粒子特性,能在真空、高洁净与具腐蚀性的制程环境中长时间稳定使用,不会刮伤或污染敏感表面。
产品优点
- 高洁净PEEK 材质:不刮伤、不掉屑,降低落尘与异物污染风险。
- 尺寸稳定度高:在温度变化与长期使用下仍保持精准。
- 耐化学性优异:可耐制程气体、溶剂及设备清洗化学品。
- 校正精准度佳:支援OTF 模组位置校正、同心度确认及量测检查。
- 适合作为备品:可用于PM、更换维修、机台重建及备品管理。
产品应用
- OTF 模组校准
- 设备PM 定位与量测检查
- 光学/量测模组校正
- 设备维修、备品替换
材料资讯
- 材质:高洁净工程塑胶PEEK
- 特性:耐高温、耐药性、低粒子、尺寸安定性佳
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