PEEK OTF Calibration Spindle
PEEK OTF Calibration Spindle(0270-0349)為 AMAT設備上常用的校正零件,採用高潔淨工程塑膠 PEEK 精密加工製成。此零件主要用於 OTF模組的定位、校準與設備狀態確認,協助工程師在關鍵製程中維持穩定與一致的量測精度。 PEEK 具備優異的耐熱性、耐化學性與低粒子特性,能在真空、高潔淨與具腐蝕性的製程環境中長時間穩定使用,不會刮傷或污染敏感表面。
產品優點
- 高潔淨 PEEK 材質:不刮傷、不掉屑,降低落塵與異物污染風險。
- 尺寸穩定度高:在溫度變化與長期使用下仍保持精準。
- 耐化學性優異:可耐製程氣體、溶劑及設備清洗化學品。
- 校正精準度佳:支援 OTF 模組位置校正、同心度確認及量測檢查。
- 適合作為備品:可用於 PM、更換維修、機台重建及備品管理。
產品應用
- OTF 模組校準
- 設備 PM 定位與量測檢查
- 光學/量測模組校正
- 設備維修、備品替換
材料資訊
- 材質:高潔淨工程塑膠 PEEK
- 特性:耐高溫、耐藥性、低粒子、尺寸安定性佳
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