高洁净搬送用晶圆导引片
我们制造的PEEK Wafer Guide(晶圆导引片) 专为半导体设备设计,安装于晶圆搬送与定位系统中,担任导引、固定、限制等功能性零件。产品采用高性能PEEK 材质,具备优异耐热性与尺寸稳定性,表面光滑,有助减少使用过程中因摩擦或老化产生的particle 污染,适合应用于对洁净度要求高的制程环境。可依设备实际条件精密加工,协助工程师完成导引零件的替换与维修。
如果您有任何需求,也欢迎填写以下表单,我们将立刻为您服务。
产品特色
- 耐热温度可达240°C,适用于真空与洁净制程
- 表面光滑,减少particle 污染风险
- 导引精度高、耐磨耗,适合长时间运作
- 可依需求加工导槽、止挡、倒角与安装孔位
- 适合搬送与对位系统中的导引零件需求
产品应用
- 安装于晶圆搬送设备,用于导引与定位
- 用于上下片结构内,协助限制偏移
- 搭配视觉或量测设备,提升工件稳定性
- 可作为备品,支援少量更换或开发需求
产品规格
PEEK Wafer Guide 为客制化制品,可依设备实际安装条件进行厚度、外型、结构设计与孔位配置调整。
支援少量制作与灵活交期,适合用于备品管理、机台改造与导引结构更新应用。
联络我们
若您需要导引精度高、材质稳定且可客制的PEEK Wafer Guide(晶圆导引片) 作为设备导引零件替换或备品应用,欢迎填写下方表单联系我们。
我们将提供设计建议、材质选型与报价支援,协助您快速对应现场需求并提升制程稳定性。