高潔淨搬送用晶圓導引片
我們製造的 PEEK Wafer Guide(晶圓導引片) 專為半導體設備設計,安裝於晶圓搬送與定位系統中,擔任導引、固定、限制等功能性零件。產品採用高性能 PEEK 材質,具備優異耐熱性與尺寸穩定性,表面光滑,有助減少使用過程中因摩擦或老化產生的 particle 汙染,適合應用於對潔淨度要求高的製程環境。可依設備實際條件精密加工,協助工程師完成導引零件的替換與維修。
如果您有任何需求,也歡迎填寫以下表單,我們將立刻為您服務。
產品特色
- 耐熱溫度可達 240°C,適用於真空與潔淨製程
- 表面光滑,減少 particle 汙染風險
- 導引精度高、耐磨耗,適合長時間運作
- 可依需求加工導槽、止擋、倒角與安裝孔位
- 適合搬送與對位系統中的導引零件需求
產品應用
- 安裝於晶圓搬送設備,用於導引與定位
- 用於上下片結構內,協助限制偏移
- 搭配視覺或量測設備,提升工件穩定性
- 可作為備品,支援少量更換或開發需求
產品規格
PEEK Wafer Guide 為客製化製品,可依設備實際安裝條件進行厚度、外型、結構設計與孔位配置調整。
支援少量製作與靈活交期,適合用於備品管理、機台改造與導引結構更新應用。
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若您需要導引精度高、材質穩定且可客製的 PEEK Wafer Guide(晶圓導引片) 作為設備導引零件替換或備品應用,歡迎填寫下方表單聯繫我們。
我們將提供設計建議、材質選型與報價支援,協助您快速對應現場需求並提升製程穩定性。