电浆蚀刻刮刀治具
Plasma Etch Scraper JIG
电浆蚀刻刮刀治具(Plasma Etch Scraper JIG)专为半导体电浆蚀刻设备(Plasma Etcher)的定期维护(PM)作业设计,采用高性能白色工程塑胶CNC 精密加工一体成型,依设备接触面几何客制化设计,适用于6 吋、8 吋、12 吋晶圆厂机台保养,有效替代原厂备件,缩短交期与降低成本。
产品应用
适用于半导体电浆蚀刻设备(Plasma Etch)相关维护作业治具,可依设备零件几何结构进行客制化设计与制造。
产品优点
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原厂备件的最佳替代方案:
面对原厂零件交期长、报价高的困境,我们提供快速响应的客制化制造服务,依设备图面或实品进行逆向工程,从少量打样到批量供货一站完成,让您的产线不再因备料问题而停摆。 -
客制化几何结构,精准贴合作业面:
依设备接触面需求进行专属设计与加工,刮除更干净、不留死角,减少人工反覆补刮的时间,提升维护效率。 -
操作一致性高,降低人为误差:
治具结构设计确保每次操作位置与角度重复一致,适合需要频繁定期维护的制程场景,稳定维护品质。 -
工程塑胶材质,不伤设备表面:
相较金属刮刀,工程塑胶材质在刮除作业时不会刮伤设备接触面或零件基材,同时具备耐化学品特性,适用于各类制程环境。 -
洁净制程管控,减少污染变因:
材料不使用回收再生料,加工与包装均符合无尘室规格,确保治具本身不带入粒子污染(Particle)。
产品优点
- 材质:高性能白色工程塑胶
- 加工方式:CNC精密加工,一体成型
- 结构设计:依客户设备需求客制化
- 适用晶圆尺寸:6吋(150mm)、8吋(200mm)、12吋(300mm)
- 尺寸:依客户设备图面或实品逆向工程订制
※ 尺寸、材质与结构均可依客户需求调整,支援少量打样,欢迎与我们洽询。
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