電漿蝕刻刮刀治具
Plasma Etch Scraper JIG
電漿蝕刻刮刀治具(Plasma Etch Scraper JIG)專為半導體電漿蝕刻設備(Plasma Etcher)的定期維護(PM)作業設計,採用高性能白色工程塑膠 CNC 精密加工一體成型,依設備接觸面幾何客製化設計,適用於 6 吋、8 吋、12 吋晶圓廠機台保養,有效替代原廠備件,縮短交期與降低成本。
產品應用
適用於半導體電漿蝕刻設備(Plasma Etch)相關維護作業治具,可依設備零件幾何結構進行客製化設計與製造。
產品優點
- 原廠備件的最佳替代方案:
面對原廠零件交期長、報價高的困境,我們提供快速響應的客製化製造服務,依設備圖面或實品進行逆向工程,從少量打樣到批量供貨一站完成,讓您的產線不再因備料問題而停擺。 - 客製化幾何結構,精準貼合作業面:
依設備接觸面需求進行專屬設計與加工,刮除更乾淨、不留死角,減少人工反覆補刮的時間,提升維護效率。 - 操作一致性高,降低人為誤差:
治具結構設計確保每次操作位置與角度重複一致,適合需要頻繁定期維護的製程場景,穩定維護品質。 - 工程塑膠材質,不傷設備表面:
相較金屬刮刀,工程塑膠材質在刮除作業時不會刮傷設備接觸面或零件基材,同時具備耐化學品特性,適用於各類製程環境。 - 潔淨製程管控,減少污染變因:
材料不使用回收再生料,加工與包裝均符合無塵室規格,確保治具本身不帶入粒子污染(Particle)。
產品優點
- 材質:高性能白色工程塑膠
- 加工方式:CNC精密加工,一體成型
- 結構設計:依客戶設備需求客製化
- 適用晶圓尺寸:6吋(150mm)、8吋(200mm)、12吋(300mm)
- 尺寸:依客戶設備圖面或實品逆向工程訂製
※ 尺寸、材質與結構均可依客戶需求調整,支援少量打樣,歡迎與我們洽詢。
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