Focus Ring Location Pin
我们制造的Vespel Focus Ring Location Pin采用杜邦Vespel® SP-1 高洁净工程塑胶制作,专为高温、真空与需要精准定位的腔体环境而设计。材料具备优异的热稳定性、耐化学性与低粒子特性,可协助Focus Ring在设备运作中维持稳定位置,降低位移、磨耗与污染风险。此零件支援精密加工,适用于维修替换、备品准备与设备升级需求,并可依实际结构条件客制各种尺寸与设计。
如果您有相关需求,也欢迎填写以下表单,我们将立即为您服务。
产品优点
- 耐高温特性,可在热循环与真空腔体中维持良好稳定性
- 低粒子、低摩擦,降低Focus Ring 与结构之间的磨耗
- 尺寸精度高,有助于维持Focus Ring 的定位一致性
- 耐化学性佳,可承受腔体内常见的腐蚀性气氛
- 支援多种腔体结构设计,可依机台条件提供客制化加工
产品应用
- 用于腔体内Focus Ring 的定位、支撑与限制移动
- 协助维持设备内部结构的间隙、位置与运作稳定性
- 适合作为高洁净设备的非金属定位零件
- 支援维修更换、备品库存与改机升级
产品规格
本产品可依设备设计与安装空间进行全客制化加工,包括:
- 尺寸、外径、内径、槽位
- 固定孔位、定位结构
- 高洁净制程所需之倒角与特殊细节设计支援
同时支援少量制作与多规格合并出货,更适合开发试产与备品管理的弹性需求。
亦可协助样品逆向工程制作,协助您减少内部人力安排与测绘负担。
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