Focus Ring Location Pin
我們製造的 Vespel Focus Ring Location Pin採用杜邦 Vespel® SP-1 高潔淨工程塑膠製作,專為高溫、真空與需要精準定位的腔體環境而設計。材料具備優異的熱穩定性、耐化學性與低粒子特性,可協助Focus Ring在設備運作中維持穩定位置,降低位移、磨耗與污染風險。此零件支援精密加工,適用於維修替換、備品準備與設備升級需求,並可依實際結構條件客製各種尺寸與設計。
如果您有相關需求,也歡迎填寫以下表單,我們將立即為您服務。
產品優點
- 耐高溫特性,可在熱循環與真空腔體中維持良好穩定性
- 低粒子、低摩擦,降低 Focus Ring 與結構之間的磨耗
- 尺寸精度高,有助於維持 Focus Ring 的定位一致性
- 耐化學性佳,可承受腔體內常見的腐蝕性氣氛
- 支援多種腔體結構設計,可依機台條件提供客製化加工
產品應用
- 用於腔體內 Focus Ring 的定位、支撐與限制移動
- 協助維持設備內部結構的 間隙、位置與運作穩定性
- 適合作為高潔淨設備的 非金屬定位零件
- 支援 維修更換、備品庫存與改機升級
產品規格
本產品可依設備設計與安裝空間進行 全客製化加工,包括:
- 尺寸、外徑、內徑、槽位
- 固定孔位、定位結構
- 高潔淨製程所需之倒角與特殊細節設計支援
同時支援 少量製作 與 多規格合併出貨,更適合開發試產與備品管理的彈性需求。
亦可協助 樣品逆向工程製作,協助您減少內部人力安排與測繪負擔。
如需討論圖面、材質或加工細節,歡迎 填寫下方表單,我們將立即為您服務。


