晶圆固定环 | 台湾高品质晶圆固定环制造商 | 申玥科技股份有限公司
申玥科技是台湾专业制造晶圆固定环及提供晶圆固定环服务的优良厂商(成立于西元2006年)申玥科技即是由具有半导体设备及机械加工设计的人员组成，配合经验超过10年的CNC专业技师团队，以及符合ISO精神的生产流程及干净整洁的工厂环境，提供绝佳的专业咨询与服务！自2006年成立至今已经服务超过上百家客户，产业包含半导体、光电、生医、太阳能及其他传统产业。 .
晶圆固定环
Retaining Ring
专注于半导体制程晶圆固定环（Retaining Ring）的客制化制作，适用于CMP、研磨与抛光等需高精度晶圆固定的制程应用。可依不同制程条件，调整接触面结构、受力分布、耐磨特性与流体通道配置，以提升制程稳定性并延长零组件使用寿命。
结合严谨的材料选用原则与CNC 精密加工能力，可依客户图面或实体样品进行制作，提供与原厂规格相容，并可依实际制程需求进一步优化的解决方案，协助降低设备维护风险与耗材更换成本。
产品优点
- 可依制程条件客制设计接触面与受力分布，提升晶圆固定稳定性
- 材料选用严谨，兼顾耐磨性、尺寸稳定性与使用寿命
- 结构设计有助于降低制程波动，维持加工一致性
- 与原厂规格相容，亦可依实际制程需求进行优化调整
产品应用
- CMP 制程晶圆固定
- 研磨、抛光等高速旋转制程
- 需高精度定位与稳定夹持之半导体制程设备
产品规格
- 晶圆尺寸：6吋（150mm） 、 8 吋(200mm) 、12 吋(300mm)
- 尺寸与公差：依不同制程需求评估
- 适用制程：CMP 及各类需晶圆固定之半导体制程
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