晶圓固定環 | 台灣高品質晶圓固定環製造商 | 申玥科技股份有限公司
申玥科技是台灣專業製造晶圓固定環及提供晶圓固定環服務的優良廠商(成立於西元2006年)申玥科技即是由具有半導體設備及機械加工設計的人員組成，配合經驗超過10年的CNC專業技師團隊，以及符合ISO精神的生產流程及乾淨整潔的工廠環境，提供絕佳的專業諮詢與服務！自2006年成立至今已經服務超過上百家客戶，產業包含半導體、光電、生醫、太陽能及其他傳統產業。.
晶圓固定環
Retaining Ring
專注於半導體製程晶圓固定環（Retaining Ring）的客製化製作，適用於 CMP、研磨與拋光等需高精度晶圓固定的製程應用。可依不同製程條件，調整接觸面結構、受力分佈、耐磨特性與流體通道配置，以提升製程穩定性並延長零組件使用壽命。
結合嚴謹的材料選用原則與 CNC 精密加工能力，可依客戶圖面或實體樣品進行製作，提供與原廠規格相容，並可依實際製程需求進一步優化的解決方案，協助降低設備維護風險與耗材更換成本。
產品優點
- 可依製程條件客製設計接觸面與受力分佈，提升晶圓固定穩定性
- 材料選用嚴謹，兼顧耐磨性、尺寸穩定性與使用壽命
- 結構設計有助於降低製程波動，維持加工一致性
- 與原廠規格相容，亦可依實際製程需求進行優化調整
產品應用
- CMP 製程晶圓固定
- 研磨、拋光等高速旋轉製程
- 需高精度定位與穩定夾持之半導體製程設備
產品規格
- 晶圓尺寸：6吋（150mm） 、 8 吋 (200mm) 、12 吋 (300mm)
- 尺寸與公差：依不同製程需求評估
- 適用製程：CMP 及各類需晶圓固定之半導體製程
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