光罩Cassette
我们制造的光罩Cassette,可依据不同尺寸的光罩(如5 inch、6 inch、7 inch 等)及应用需求进行客制化设计与生产,适用于各种光罩搬运、检测、曝光与清洗制程。可搭配耐酸碱、抗静电或无尘室专用材质,确保光罩在高洁净环境中的安全搬运与储存。
每款Cassette 均经过高精度加工与严格检测,确保光罩在制程搬运、转换或对位过程中的稳定性与定位精度,减少刮伤、污染或滑落的风险,让设备维护与生产流程更稳定高效。
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产品优点
- 高精度结构设计,确保光罩稳定搬运:
 CNC 精密加工与高平面度控制,提升曝光与检测时的定位精度。
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低摩擦防刮结构,降低污染风险:
 采用PEEK、PTFE 材质与圆角设计,减少刮伤与粒子附着。
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抗静电与耐化学材质,适用严苛制程:
 ESD 等级材质可耐酸碱与清洗液,确保光罩清洁稳定。
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精准槽位设计,确保取放顺畅与安全:
 槽距一致、边缘平滑,防止光罩晃动与刮伤。
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高刚性与长期稳定性,降低维护成本:
 铝合金搭配工程塑胶结构,兼具轻量与耐磨,稳定度佳。
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支援客制化设计,满足多样制程需求:
 可依光罩尺寸(5–7 inch)与设备型式调整结构,支援OEM / ODM。
产品应用
- 半导体制造(Semiconductor Manufacturing)
- 光罩制程(Photomask Process / Mask Handling)
- 面板产业(Panel / Display Industry)
- 光学与精密检测产业
产品规格
| 项目 | 规格 | 
| 光罩尺寸 | 5 inch、6 inch、7 inch (可依需求客制) | 
| 材质 | 铝合金/ PEEK / POM / 抗静电/ 氟系材质 | 
| 使用环境 | 无尘室、耐酸碱、抗静电等环境 | 
| 适用制程 | 光罩检测、搬运、曝光、清洗 | 
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