光罩Cassette
我們製造的光罩Cassette,可依據不同尺寸的光罩(如 5 inch、6 inch、7 inch 等)及應用需求進行客製化設計與生產,適用於各種 光罩搬運、檢測、曝光與清洗製程。可搭配耐酸鹼、抗靜電或無塵室專用材質,確保光罩在高潔淨環境中的安全搬運與儲存。
每款 Cassette 均經過 高精度加工與嚴格檢測,確保光罩在製程搬運、轉換或對位過程中的穩定性與定位精度,減少刮傷、污染或滑落的風險,讓設備維護與生產流程更穩定高效。
歡迎填寫以下表單與我們聯繫,我們將盡快提供專業諮詢與報價服務。
產品優點
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高精度結構設計,確保光罩穩定搬運:
CNC 精密加工與高平面度控制,提升曝光與檢測時的定位精度。 - 低摩擦防刮結構,降低污染風險:
採用 PEEK、PTFE 材質與圓角設計,減少刮傷與粒子附著。 - 抗靜電與耐化學材質,適用嚴苛製程:
ESD 等級材質可耐酸鹼與清洗液,確保光罩清潔穩定。 - 精準槽位設計,確保取放順暢與安全:
槽距一致、邊緣平滑,防止光罩晃動與刮傷。 - 高剛性與長期穩定性,降低維護成本:
鋁合金搭配工程塑膠結構,兼具輕量與耐磨,穩定度佳。 - 支援客製化設計,滿足多樣製程需求:
可依光罩尺寸(5–7 inch)與設備型式調整結構,支援 OEM / ODM。
產品應用
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半導體製造(Semiconductor Manufacturing)
- 光罩製程(Photomask Process / Mask Handling)
- 面板產業(Panel / Display Industry)
- 光學與精密檢測產業
產品規格
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項目 |
規格 |
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光罩尺寸 |
5 inch、6 inch、7 inch (可依需求客製) |
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材質 |
鋁合金 / PEEK / POM / 抗靜電 / 氟系材質 |
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使用環境 |
無塵室、耐酸鹼、抗靜電等環境 |
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適用製程 |
光罩檢測、搬運、曝光、清洗 |
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