铁氟龙晶舟 | 台湾高品质铁氟龙晶舟制造商 | 申玥科技股份有限公司
申玥科技是台湾专业制造铁氟龙晶舟及提供铁氟龙晶舟服务的优良厂商(成立于西元2006年)申玥科技即是由具有半导体设备及机械加工设计的人员组成，配合经验超过10年的CNC专业技师团队，以及符合ISO精神的生产流程及干净整洁的工厂环境，提供绝佳的专业咨询与服务！自2006年成立至今已经服务超过上百家客户，产业包含半导体、光电、生医、太阳能及其他传统产业。 .
铁氟龙晶舟
PTFE Wafer Boat
耐酸碱卡匣/ 铁氟龙载具/ 酸槽载具
半导体制程中，晶圆在酸碱制程中，以铁氟龙晶舟当载具，申玥生产的铁氟龙晶舟，采用特殊的功能设计，在晶圆放制于晶舟后，不会左右晃动，离开酸槽后可以将酸的残留量降至最低。可依客户制程需求设计各尺寸铁氟龙晶舟载具。
产品规格
- 稳定晶圆承载设计，确保晶圆于传送与浸泡过程中不易晃动
- 专注晶圆承载与固定机能，提供一致且可靠的晶圆排列与支撑
- 高纯度PTFE 材质，耐强酸、强碱，不释出杂质，适用湿制程环境
- 适合长时间制程使用，材料化学稳定、耐用度高
- 支援客制与一件打样，可依晶圆尺寸与制程需求调整结构
产品规格
- l适用晶圆尺寸：4 吋/ 6 吋/ 8 吋
- SLOT 数量：依需求配置，可客制化
- 材质：PTFE（聚四氟乙烯）
如有需要其他的尺寸、规格、材质，欢迎填写以下表单，与我们联系。
