鐵氟龍晶舟
PTFE Wafer Boat
耐酸鹼卡匣 / 鐵氟龍載具 / 酸槽載具
半導體製程中,晶圓在酸鹼製程中,以鐵氟龍晶舟當載具,申玥生產的鐵氟龍晶舟,採用特殊的功能設計,在晶圓放製於晶舟後,不會左右晃動,離開酸槽後可以將酸的殘留量降至最低。可依客戶製程需求設計各尺寸鐵氟龍晶舟載具。

產品規格
- 穩定晶圓承載設計,確保晶圓於傳送與浸泡過程中不易晃動
- 專注晶圓承載與固定機能,提供一致且可靠的晶圓排列與支撐
- 高純度 PTFE 材質,耐強酸、強鹼,不釋出雜質,適用濕製程環境
- 適合長時間製程使用,材料化學穩定、耐用度高
- 支援客製與一件打樣,可依晶圓尺寸與製程需求調整結構
產品規格
- l適用晶圓尺寸:4 吋 / 6 吋 / 8 吋
- SLOT 數量:依需求配置,可客製化
- 材質:PTFE(聚四氟乙烯)
如有需要其他的尺寸、規格、材質,歡迎填寫以下表單,與我們聯繫。


