晶圆吸笔
真空吸笔
在半导体制程中,当需要手动选取卡夹中的任一片晶圆进行检测时,使用真空吸笔(Vacuum Wafer Wand)是一种快速且省力的解决方式。我们所制造的吸笔,采用抗静电PEEK 或POM 材质,并针对晶圆接触面进行抛光处理,有效降低吸力不足或掉片风险。每支吸笔在出厂前皆通过负压值80Kpa 以上的吸力测试,品质稳定可靠,适用于无尘室与高洁净环境。我们亦可依照客户实际使用情境,设计最合适的吸笔功能与尺寸。相关配件如矽胶真空管、吸笔座、携带式吸笔也皆可提供,若有需求,欢迎联系洽询。
产品特色
- 笔杆共用设计,可替换4 吋、6 吋、8 吋、12 吋笔头
- 笔杆为抗静电设计,适用高洁净制程需求
- 吸附面抛光处理,降低晶圆压痕与污染风险
- 出厂前皆经80Kpa 吸力测试,确保稳定吸附力
- 提供配件选择:真空矽胶管、吸笔座、携带式吸笔
应用环境
- 半导体制程中的晶圆测试与检查作业
- 晶圆开发阶段之抽样检测与手动搬运
- 无尘室环境内的晶圆转移或设备操作
- 实验室内进行样品处理或设备测试
产品规格
型号 | 类型 | 尺寸 | 材质 |
VP-PEN-POM | 吸笔笔杆 | 共用 | 抗静电POM(黑) |
VP-PEN-PEEK | 吸笔笔杆 | 共用 | 抗静电PEEK(黑) |
型号 | 类型 | 尺寸 | 材质 |
VP-H304-PK | 吸笔笔头 | 4吋(直型) | 一般PEEK |
VP-H106-PKCF | 吸笔笔头 | 6 吋(直型) | 抗静电PEEK |
VP-H108-PKCF | 吸笔笔头 | 8 吋(直型) | 抗静电PEEK |
VP-H208-PKCF | 吸笔笔头 | 8 吋(折弯型) | 抗静电PEEK |
VP-H112-PKCF | 吸笔笔头 | 12 吋(直型) | 抗静电PEEK |
VP-H212-PKCF | 吸笔笔头 | 12 吋(折弯型) | 抗静电PEEK |
VP-TUBE | 吸笔真空卷管 | 共用 | 矽胶 |
产品备注
- 所有吸笔笔杆皆可与4 吋~12 吋笔头相容使用
- 4 吋笔头为一般PEEK 材质,其余皆为抗静电设计
- 笔头与笔杆可依使用环境搭配选择
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真空吸笔座|内建微型真空帮浦供吸力,无需外接气源
型号:VP-BASE-PB01
适用于无尘室与高洁净制程,实现灵活、整洁的晶圆搬运操作。
本产品为桌上型真空吸笔座,内建微型真空帮浦( Micro Vacuum Pump ),可在无需外接气源的情况下稳定产生吸力,搭配真空吸笔使用。
适用于无尘室、高洁净制程与实验室等作业环境,有效提升操作灵活性与作业区整洁度。
笔杆可稳定摆放于笔座上,避免接触污染与滑落风险,使用更便利、更安全。
产品特色
- 内建微型真空帮浦,无需外接气源即可使用
- 内附电池,无需外接电源即可启动吸力
- 桌上型稳固设计,笔杆可轻松摆放与取用
- 避免笔杆直接接触桌面,维持操作洁净
- 适用多款真空吸笔型号与笔头尺寸
- 可依使用需求提供笔座外观、结构等客制化服务
Shen-Yueh 真空吸笔座|操作吸附实机示范影片
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