晶圓吸筆
真空吸筆
在半導體製程中,當需要手動選取卡夾中的任一片晶圓進行檢測時,使用真空吸筆(Vacuum Wafer Wand)是一種快速且省力的解決方式。我們所製造的吸筆,採用抗靜電 PEEK 或 POM 材質,並針對晶圓接觸面進行拋光處理,有效降低吸力不足或掉片風險。每支吸筆在出廠前皆通過負壓值 80Kpa 以上的吸力測試,品質穩定可靠,適用於無塵室與高潔淨環境。我們亦可依照客戶實際使用情境,設計最合適的吸筆功能與尺寸。相關配件如矽膠真空管、吸筆座、攜帶式吸筆也皆可提供,若有需求,歡迎聯繫洽詢。
產品特色
- 筆桿共用設計,可替換 4 吋、6 吋、8 吋、12 吋筆頭
- 筆桿為抗靜電設計,適用高潔淨製程需求
- 吸附面拋光處理,降低晶圓壓痕與污染風險
- 出廠前皆經80Kpa 吸力測試,確保穩定吸附力
- 提供配件選擇:真空矽膠管、吸筆座、攜帶式吸筆
應用環境
- 半導體製程中的晶圓測試與檢查作業
- 晶圓開發階段之抽樣檢測與手動搬運
- 無塵室環境內的晶圓轉移或設備操作
- 實驗室內進行樣品處理或設備測試
產品規格
型號 | 類型 | 尺寸 | 材質 |
VP-PEN-POM | 吸筆筆桿 | 共用 | 抗靜電POM(黑) |
VP-PEN-PEEK | 吸筆筆桿 | 共用 | 抗靜電PEEK(黑) |
型號 | 類型 | 尺寸 | 材質 |
VP-H304-PK | 吸筆筆頭 | 4吋(直型) | 一般PEEK |
VP-H106-PKCF | 吸筆筆頭 | 6 吋(直型) | 抗靜電 PEEK |
VP-H108-PKCF | 吸筆筆頭 | 8 吋(直型) | 抗靜電 PEEK |
VP-H208-PKCF | 吸筆筆頭 | 8 吋(折彎型) | 抗靜電 PEEK |
VP-H112-PKCF | 吸筆筆頭 | 12 吋(直型) | 抗靜電 PEEK |
VP-H212-PKCF | 吸筆筆頭 | 12 吋(折彎型) | 抗靜電 PEEK |
VP-TUBE | 吸筆真空捲管 | 共用 | 矽膠 |
產品備註
- 所有吸筆筆桿皆可與 4 吋~12 吋筆頭相容使用
- 4 吋筆頭為一般 PEEK 材質,其餘皆為抗靜電設計
- 筆頭與筆桿可依使用環境搭配選擇
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真空吸筆座|內建微型真空幫浦供吸力,無需外接氣源
型號:VP-BASE-PB01
適用於無塵室與高潔淨製程,實現靈活、整潔的晶圓搬運操作。
本產品為桌上型真空吸筆座,內建微型真空幫浦(Micro Vacuum Pump),可在無需外接氣源的情況下穩定產生吸力,搭配真空吸筆使用。
適用於無塵室、高潔淨製程與實驗室等作業環境,有效提升操作靈活性與作業區整潔度。
筆桿可穩定擺放於筆座上,避免接觸污染與滑落風險,使用更便利、更安全。
產品特色
- 內建微型真空幫浦,無需外接氣源即可使用
- 內附電池,無需外接電源即可啟動吸力
- 桌上型穩固設計,筆桿可輕鬆擺放與取用
- 避免筆桿直接接觸桌面,維持操作潔淨
- 適用多款真空吸筆型號與筆頭尺寸
- 可依使用需求提供筆座外觀、結構等客製化服務
Shen-Yueh 真空吸筆座|操作吸附實機示範影片
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