Chuck PIN | 台湾高品质Chuck PIN制造商 | 申玥科技股份有限公司
申玥科技是台湾专业制造Chuck PIN及提供Chuck PIN服务的优良厂商(成立于西元2006年)申玥科技即是由具有半导体设备及机械加工设计的人员组成，配合经验超过10年的CNC专业技师团队，以及符合ISO精神的生产流程及干净整洁的工厂环境，提供绝佳的专业咨询与服务！自2006年成立至今已经服务超过上百家客户，产业包含半导体、光电、生医、太阳能及其他传统产业。 .
Chuck PIN
我们制造的CHUCK PIN 可依不同设备与夹持需求进行客制化设计与加工，适用于LAM 机台及其他半导体制程设备。每支PIN 依实际夹具与真空条件量身制作，确保夹持稳定与定位精度。可选用PEEK、PVDF、抗静电黑色材质，具耐化学、耐高温、低粒子特性。全程CNC 精密加工与检测，确保表面光滑、结构吻合，降低刮伤与污染风险，提升制程稳定性与操作效率。
产品优点
- 依样品或图纸客制制作：可依样品或图纸客制制作，并支援少量试制，灵活应用于新机台测试与维修。
- 稳定夹持结构，提升良率：高精度公差控制，确保尺寸定位准确，降低晃动与滑移。
- 高洁净、耐化学材质： PEEK、PVDF、抗静电黑色材质，具耐酸碱、耐高温与低粒子特性。
- 防刮低粒子结构：抛光与圆角设计，减少刮伤与污染，维持制程洁净度。
- 高刚性与长期稳定性：工程级塑胶结构具尺寸稳定与耐磨特性，使用寿命长、维护成本低。
产品应用
- 半导体蚀刻制程（Etching Process）
- 夹持与载台结构（Chuck / Holding Structures）
- 湿制程与化学清洗设备（Wet Process / Cleaning Equipment）
- 光罩与晶圆搬运治具（Mask / Wafer Handling Fixtures）
- 维修与校正治具（Maintenance & Calibration Fixtures）
产品规格
| 项目 | 规格 |
| 制作方式 | 依客户提供之图纸或样品进行逆向工程制作，支援客制化尺寸与结构设计。 |
| 材质选择 | 依不同制程环境选用最适材质： |
| ‧ PEEK ：高刚性、耐高温、低粒子，适用干式蚀刻与高温环境。 | |
| ‧ PVDF ：耐酸碱与耐化学性佳，适用湿制程与化学清洗环境。 | |
| ‧ 抗静电黑色材质（ESD Grade）：具导电性与洁净度，降低静电放电风险。 | |
| 适用设备 | LAM EOS、DV 系列及其他半导体制程设备。 |
| 使用环境 | 半导体蚀刻、湿制程、清洗与搬运应用环境。 |
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