Chuck PIN | 台灣高品質Chuck PIN製造商 | 申玥科技股份有限公司
申玥科技是台灣專業製造Chuck PIN及提供Chuck PIN服務的優良廠商(成立於西元2006年)申玥科技即是由具有半導體設備及機械加工設計的人員組成，配合經驗超過10年的CNC專業技師團隊，以及符合ISO精神的生產流程及乾淨整潔的工廠環境，提供絕佳的專業諮詢與服務！自2006年成立至今已經服務超過上百家客戶，產業包含半導體、光電、生醫、太陽能及其他傳統產業。.
Chuck PIN
我們製造的 CHUCK PIN 可依不同設備與夾持需求進行客製化設計與加工，適用於 LAM 機台及其他半導體製程設備。每支 PIN 依實際夾具與真空條件量身製作，確保夾持穩定與定位精度。可選用 PEEK、PVDF、抗靜電黑色材質，具耐化學、耐高溫、低粒子特性。全程 CNC 精密加工與檢測，確保表面光滑、結構吻合，降低刮傷與污染風險，提升製程穩定性與操作效率。
產品優點
- 依樣品或圖紙客製製作：可依樣品或圖紙客製製作，並支援少量試製，靈活應用於新機台測試與維修。
- 穩定夾持結構，提升良率：高精度公差控制，確保尺寸定位準確，降低晃動與滑移。
- 高潔淨、耐化學材質：PEEK、PVDF、抗靜電黑色材質，具耐酸鹼、耐高溫與低粒子特性。
- 防刮低粒子結構：拋光與圓角設計，減少刮傷與污染，維持製程潔淨度。
- 高剛性與長期穩定性：工程級塑膠結構具尺寸穩定與耐磨特性，使用壽命長、維護成本低。
產品應用
- 半導體蝕刻製程（Etching Process）
- 夾持與載台結構（Chuck / Holding Structures）
- 濕製程與化學清洗設備（Wet Process / Cleaning Equipment）
- 光罩與晶圓搬運治具（Mask / Wafer Handling Fixtures）
- 維修與校正治具（Maintenance & Calibration Fixtures）
產品規格
| 項目 | 規格 |
| 製作方式 | 依客戶提供之圖紙或樣品進行逆向工程製作，支援客製化尺寸與結構設計。 |
| 材質選擇 | 依不同製程環境選用最適材質： |
| ‧ PEEK：高剛性、耐高溫、低粒子，適用乾式蝕刻與高溫環境。 | |
| ‧ PVDF：耐酸鹼與耐化學性佳，適用濕製程與化學清洗環境。 | |
| ‧ 抗靜電黑色材質（ESD Grade）：具導電性與潔淨度，降低靜電放電風險。 | |
| 適用設備 | LAM EOS、DV 系列及其他半導體製程設備。 |
| 使用環境 | 半導體蝕刻、濕製程、清洗與搬運應用環境。 |
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