VESPEL工程塑胶加工 | 台湾高品质VESPEL工程塑胶加工制造商 | 申玥科技股份有限公司
申玥科技是台湾专业制造VESPEL工程塑胶加工及提供VESPEL工程塑胶加工服务的优良厂商(成立于西元2006年)申玥科技即是由具有半导体设备及机械加工设计的人员组成，配合经验超过10年的CNC专业技师团队，以及符合ISO精神的生产流程及干净整洁的工厂环境，提供绝佳的专业咨询与服务！自2006年成立至今已经服务超过上百家客户，产业包含半导体、光电、生医、太阳能及其他传统产业。 .
VESPEL工程塑胶加工
专为高温、真空与制程稳定性设计与制造
适用于电浆腔体、晶圆搬送、热场绝缘与抗化学蚀刻环境
我们专精于Vespel® 工程塑胶的精密加工，特别适用于半导体设备中高温、高真空、低粒子环境下的关键零件制作。我们熟悉多款Vespel 材料等级，并拥有对应的加工经验与流程控管能力，能稳定支援客户从样品开发到正式导入，满足高阶制程对精度、稳定性与材料性能的各项要求。
如需进一步了解VESPEL工程塑胶的加工服务，欢迎透过下方表单与我们联系，我们将竭诚为您提供协助。
多款Vespel 材料等级支援
我们可对应加工多种Vespel® 等级，包含：
材料等级 | 特性与应用建议 |
SP-1 | 高纯度聚醯亚胺，绝缘性优异，适用于高真空与电浆腔体应用 |
SCP-5000 | 改良型聚醯亚胺，具更高强度与稳定性，适合承载与结构支撑用途 |
CR-6100 / CR-6110 | 半导体蚀刻机常用材料，兼具热稳定与化学抗性 |
※如有其他等级或品牌型号需求，我们亦可协助评估加工。
加工能力与特性
- 支援CNC 多轴加工与高精度切削，能对应复杂几何与薄壁结构
- 熟悉高温、真空等特殊制程条件，依材料特性调整加工工法
- 具备逆向建模、样品开发与多规格整合制作经验
- 了解AMAT、TEL、Lam 等主流设备商的结构需求
- 可弹性支援少量制作，降低客户库存压力与开发风险
加工实例｜从原料到客制零件
在实际专案中，我们经常依据客户提供的图面、样品或使用条件，协助完成材料选型、结构确认与尺寸转换，并进行稳定加工。从原料板棒材开始，到车铣成形、修边、检查与包装，我们提供完整制程支持。
举例来说：
- 蚀刻腔体内使用的Confinement Ring，需在高温与化学气体下维持长期稳定
- 机械手搬运端的End Effector Pad，要求减震、低脱屑且不刮伤晶圆
- 升降系统的Lift Pin Guide 则须兼顾精准导向与耐磨耗特性
左侧为原料棒材，右侧为完成后的客制零件
欢迎提供图面或样品，我们将协助您评估加工可行性，并针对需求提供合适的材料与制作建议。
半导体设备常见应用
Vespel® 材料特性稳定，广泛应用于各类半导体设备系统中，包括：
加工零件 | 应用位置 | 功能说明 |
Confinement Ring | Etcher 腔体 | 控制气体流场、耐热与抗蚀结构 |
Insulator Bushing | 绝缘部位、介电隔离元件 | 提供电气隔离、抗化学腐蚀 |
Lift Pin Guide | 晶圆升降导引系统 | 稳定导向、耐磨耗、低微粒生成 |
End Effector Pad | 机械手臂末端 | 减震与保护晶圆、防止表面污染 |
Thermal Spacer | 腔体结构间热隔离元件 | 稳定热传控制，避免热干扰精密结构表现 |
联络我们
若您有 Vespel ® 材料相关零件的开发或替换需求，欢迎提供图面、样品或应用说明，
我们将协助您确认适用等级与加工细节，提供稳定可靠的制造解决方案。
Email: service@sy-tech.com. tw
欢迎填写下方表单，或来信与我们联系， 让我们了解您的需求，并提供合适的加工建议。
