VESPEL工程塑膠加工 | 台灣高品質VESPEL工程塑膠加工製造商 | 申玥科技股份有限公司
申玥科技是台灣專業製造VESPEL工程塑膠加工及提供VESPEL工程塑膠加工服務的優良廠商(成立於西元2006年)申玥科技即是由具有半導體設備及機械加工設計的人員組成，配合經驗超過10年的CNC專業技師團隊，以及符合ISO精神的生產流程及乾淨整潔的工廠環境，提供絕佳的專業諮詢與服務！自2006年成立至今已經服務超過上百家客戶，產業包含半導體、光電、生醫、太陽能及其他傳統產業。.
VESPEL工程塑膠加工
專為高溫、真空與製程穩定性設計與製造
適用於電漿腔體、晶圓搬送、熱場絕緣與抗化學蝕刻環境
我們專精於 Vespel® 工程塑膠的精密加工，特別適用於半導體設備中高溫、高真空、低粒子環境下的關鍵零件製作。我們熟悉多款 Vespel 材料等級，並擁有對應的加工經驗與流程控管能力，能穩定支援客戶從樣品開發到正式導入，滿足高階製程對精度、穩定性與材料性能的各項要求。
如需進一步了解 VESPEL工程塑膠的加工服務，歡迎透過下方表單與我們聯繫，我們將竭誠為您提供協助。
多款 Vespel 材料等級支援
我們可對應加工多種 Vespel® 等級，包含：
材料等級 | 特性與應用建議 |
SP-1 | 高純度聚醯亞胺，絕緣性優異，適用於高真空與電漿腔體應用 |
SCP-5000 | 改良型聚醯亞胺，具更高強度與穩定性，適合承載與結構支撐用途 |
CR-6100 / CR-6110 | 半導體蝕刻機常用材料，兼具熱穩定與化學抗性 |
※如有其他等級或品牌型號需求，我們亦可協助評估加工。
加工能力與特性
- 支援 CNC 多軸加工與高精度切削，能對應複雜幾何與薄壁結構
- 熟悉高溫、真空等特殊製程條件，依材料特性調整加工工法
- 具備逆向建模、樣品開發與多規格整合製作經驗
- 了解 AMAT、TEL、Lam 等主流設備商的結構需求
- 可彈性支援少量製作，降低客戶庫存壓力與開發風險
加工實例｜從原料到客製零件
在實際專案中，我們經常依據客戶提供的圖面、樣品或使用條件，協助完成材料選型、結構確認與尺寸轉換，並進行穩定加工。從原料板棒材開始，到車銑成形、修邊、檢查與包裝，我們提供完整製程支持。
舉例來說：
- 蝕刻腔體內使用的 Confinement Ring，需在高溫與化學氣體下維持長期穩定
- 機械手搬運端的 End Effector Pad，要求減震、低脫屑且不刮傷晶圓
- 升降系統的 Lift Pin Guide 則須兼顧精準導向與耐磨耗特性
左側為原料棒材，右側為完成後的客製零件
歡迎提供圖面或樣品，我們將協助您評估加工可行性，並針對需求提供合適的材料與製作建議。
半導體設備常見應用
Vespel® 材料特性穩定，廣泛應用於各類半導體設備系統中，包括：
加工零件 | 應用位置 | 功能說明 |
Confinement Ring | Etcher 腔體 | 控制氣體流場、耐熱與抗蝕結構 |
Insulator Bushing | 絕緣部位、介電隔離元件 | 提供電氣隔離、抗化學腐蝕 |
Lift Pin Guide | 晶圓升降導引系統 | 穩定導向、耐磨耗、低微粒生成 |
End Effector Pad | 機械手臂末端 | 減震與保護晶圓、防止表面污染 |
Thermal Spacer | 腔體結構間熱隔離元件 | 穩定熱傳控制，避免熱干擾精密結構表現 |
聯絡我們
若您有 Vespel® 材料相關零件的開發或替換需求，歡迎提供圖面、樣品或應用說明，
我們將協助您確認適用等級與加工細節，提供穩定可靠的製造解決方案。
Email: service@sy-tech.com.tw
歡迎填寫下方表單，或來信與我們聯繫， 讓我們了解您的需求，並提供合適的加工建議。
