Reinraumvorrichtungen und Messlösungen
Fokussiert auf die Entwicklung von nicht-metallischen Vorrichtungen für den Reinraum, von präzisen Messungen bis hin zu Prozessanwendungen.
Wir konzentrieren uns auf die Entwicklung von nicht-metallischen Vorrichtungen und Messlösungen für den Einsatz im Reinraum.
Obwohl Vorrichtungen und Messwerkzeuge nicht die Hauptbestandteile der Ausrüstung sind, spielen sie eine Schlüsselrolle bei der Kalibrierungsgenauigkeit und dem Ertrag nach der Wartung.
Unsere Lösungen basieren auf realen Anwendungsfällen aus der Ingenieurpraxis und den Anforderungen der Fertigung.
Durch die richtige Materialauswahl und praktisches Design der Vorrichtungen helfen wir, Kratzer, Partikelbildung und metallische Kontamination zu reduzieren und unterstützen stabile und zuverlässige Reinraumbetriebe.
Unser Servicebereich
Wir bieten umfassende Lösungen für Reinraumvorrichtungen und Messungen, die Design, Bearbeitung und technische Unterstützung abdecken:
Basierend auf Wartungs- und Messszenarien für Halbleiterausrüstung entwickeln wir nicht-metallische Vorrichtungen und Messwerkzeuge (Vorrichtungen / Halterungen), die für Reinraumumgebungen geeignet sind und die Kalibrierung, Wartung und prozessbezogene Operationen von Geräten unterstützen.
Mit CNC-Bearbeitungserfahrung in 0,1 mm-Klasse dünnen Kunststoffmessgeräten sind unsere Werkzeuge für Mikrolückenmessungen und Geräteanpassungsaufgaben geeignet, wodurch Kratzer und Störrisiken, die häufig mit Metallwerkzeugen verbunden sind, reduziert werden.
Basierend auf verschiedenen Prozessbedingungen bieten wir Materialbewertungen und Empfehlungen für Nichtmetallmaterialien wie PEEK, PTFE und PI / Vespel an, die für Hochtemperatur-, Nassprozess- oder ESD-empfindliche Umgebungen geeignet sind.
Entsprechend der Gerätestruktur, des Betriebsablaufs und der Messanforderungen bieten wir individuelles Jig-Design und Dienstleistungen zur Kleinserienproduktion an, die F&E-Tests, Wartungsarbeiten und Phasen der Prozessimplementierung unterstützen.
Für maßgebliche Vorrichtungen führen wir notwendige Maßinspektionen durch und bieten Laserbeschriftung oder mechanische Gravur basierend auf den Anforderungen an die Nutzung von Reinräumen an, um das Produktmanagement und die grundlegende Rückverfolgbarkeit zu unterstützen.
Kernvorteile (Warum SY-Tech?)
1. Ingenieurteam mit Hintergrund in Halbleiterausrüstung
Unser Team verfügt über praktische Erfahrungen mit Halbleiterausrüstung und versteht nicht nur die Bearbeitungsanforderungen, sondern auch die realen PM-Wartungsabläufe, wie z.B. Methoden zum Entfernen von O-Ringen, Handhabung von Spaltmessungen und Betriebsbedingungen in der Kammer. Wir unterstützen Kunden bei der Optimierung von Vorrichtungsstrukturen und der Materialauswahl, reduzieren Kosten für Versuch und Irrtum und unterstützen die Etablierung standardisierter Wartungsverfahren (SOPs).
2. 0,1 mm-Klasse CNC-Präzisionskunststoffbearbeitungsfähigkeit
Wir sind auf die CNC-Bearbeitung von Hochleistungs-Kunststoffen wie PEEK und Vespel spezialisiert und haben Erfahrung in der Herstellung von dünnen Messgeräten der Klasse 0,1 mm. Im Vergleich zu handelsüblichen gestanzten Messgeräten bieten wir eine stabilere Maßkontrolle und größere Bearbeitungsflexibilität, die für Mikrogap-Messanwendungen geeignet ist, während wir das Risiko von Kratzern, die mit Metallwerkzeugen verbunden sind, reduzieren.
3. Prozessspezifische Auswahl von Nichtmetallmaterialien
Für verschiedene Prozessumgebungen bieten wir eine breite Palette von nichtmetallischen Materialoptionen an, darunter ESD-sicheres PEEK, chemisch beständiges PTFE und hochtemperaturbeständiges PI (Vespel). Über ein einziges Kontaktfenster können Kunden die Eignung der Materialien unter verschiedenen Prozessbedingungen bewerten, wodurch die potenziellen Risiken der Verwendung von Metallvorrichtungen verringert werden.
4. Individuelles Design und flexible Unterstützung bei der Lieferzeit
Wir sind nicht durch Standardvorgaben oder Mindestbestellmengen eingeschränkt. Basierend auf der Ausrüstungsstruktur und den tatsächlichen Betriebsbedürfnissen bieten wir Designs für Langstiel-, Winkel- oder speziell geformte Vorrichtungen an. Ob für Prototypen in der Forschung und Entwicklung oder für Kleinserienproduktionen zur Wartung, wir unterstützen die Zeitpläne unserer Kunden flexibel.
5. Qualitätsinspektion und Produktidentifikationsmanagement
Für Produkte mit dünnem Querschnitt werden Maßinspektionen mit optischen Messsystemen durchgeführt. Die Produktidentifikation erfolgt durch Laserbeschriftung oder mechanische Gravur, basierend auf Material und Einsatzumgebung, um Tintenverunreinigungen zu vermeiden und die Anforderungen an Reinräume und grundlegende Rückverfolgbarkeit zu erfüllen.
Lösung häufiger Prozessherausforderungen
Wir gehen technische Herausforderungen an, die durch Metallwerkzeuge in Produktionsumgebungen verursacht werden, durch ingenieurtechnische Lösungen:
| Häufige Herausforderungen vor Ort | Unsere ingenieurtechnischen Lösungen |
|---|---|
| Metallmessgeräte zerkratzen Beschichtungen / Wafer | PEEK-Fühlerlehren: Utilize hardness differentials to ensure measurement contact without damaging workpiece surfaces. |
| Beschädigung der Dichtnuten beim Entfernen von O-Ringen | PEEK-Entfernungsvorrichtungen: Designed with specific hook geometries to concentrate force on the O-ring while protecting metal grooves. |
| Werkzeugausfall während der Wartung bei hohen Temperaturen | PEEK / PI-Antriebe: High heat deflection temperature (HDT) materials maintain mechanical rigidity in 260°C–300°C environments. |
| Elektrostatische Schäden an empfindlichen Komponenten | ESD-Werkzeuge: Controlled surface resistivity safely dissipates electrostatic charges. |
| Werkzeugkorrosion durch saure Umgebungen | PTFE-Werkzeuge: Fluoropolymer chemical inertness eliminates oxidation and corrosion issues. |
| Unzugängliche Mikro-Toten Zonen für Messungen | Maßgeschneiderte CNC-Bearbeitung: Multi-axis CNC machining enables special shapes and long-reach gauges to overcome geometric limitations. |
Anwendbare Branchen und Anwendungsmodule
Fokussiert auf Front-End- und Back-End-Prozesse in der Halbleiterindustrie, bietet modulare nicht-metallische Vorrichtungsunterstützung:
Einschließlich Ätzen, PVD und CVD. Bereitstellung von Messwerkzeugen für Düsenspalt, O-Ring-Austausch und Linientrennung.
Einschließlich Diffusion / Ofen. Bereitstellung von hochtemperaturbeständigen Mess- und Befestigungswerkzeugen.
Einschließlich Nassarbeitsplatz / Reinigung. Bereitstellung von säure- und alkalibeständigen Antrieben, Wafer-Handhabungsjigs und Düsenjustierwerkzeugen.
Einschließlich Lithografie- und Sortiersysteme. Bereitstellung von Roboter-Ausrichtungs-Messschiebern, Kassettentestjigs und ESD-Schutzwerkzeugen.
📘 Fallstudien: Verbesserte Messstabilität und Effizienz
Kontaktieren Sie uns / Anfrage zur Beratung
Wenn Sie mit metallischen magnetischen Störungen konfrontiert sind oder schnelle maßgeschneiderte Vorrichtungsentwicklung für Reinraumvorrichtungen und Messanwendungen benötigen, zögern Sie nicht, SY-Tech zu kontaktieren.
Sie können auch das untenstehende Formular ausfüllen, und wir werden uns so schnell wie möglich bei Ihnen melden.
✉️ E-Mail：service@sy-tech.com.tw
Mit rigorosen Fertigungsprozessen und Fachwissen in Ingenieurkunststoffen unterstützen wir konsequent die Kalibrierung, Wartung und Prozessanforderungen von Geräten als zuverlässiger Engineering-Partner zur Verbesserung der Prozessstabilität und der Zuverlässigkeit von Geräten.
