無塵室治具與量測解決方案
專注於無塵室非金屬治具開發，從精密量測到實際製程應用
我們專注於無塵室非金屬治具與量測解決方案的開發。治具與量測工具雖非設備主體，卻直接影響設備校正的準確性，以及維修後的製程良率表現。傳統金屬工具不僅可能成為微粒（Particle）與金屬汙染來源，也存在晶圓刮傷與靜電損傷（ESD）的潛在風險。
我們的團隊以工程師實際使用情境為出發點，提供符合 Fab 規範的非金屬治具與量測解決方案。以 0.1 mm 等級 PEEK 精密厚薄規的穩定量產能力 作為技術基準，展現對微米級公差的精準控制，並進一步延伸應用至 O-ring 拆卸、高溫鎖附、晶圓傳輸校正 等關鍵維修與校正環節。
透過材料選用與結構設計的優化，我們有效降低無塵室作業中可能產生的刮傷、微粒與金屬汙染風險，讓非金屬治具成為支撐製程穩定運作的可靠基礎。
我們的服務範疇
我們提供一站式的無塵室治具與量測解決方案，涵蓋設計、加工與工程支援：
以半導體設備維修與量測情境為基礎，開發適用於無塵室環境的非金屬治具與量測工具（jigs / fixtures），支援設備校正、維修與製程相關操作需求。
具備 0.1 mm 等級薄型塑膠量具的 CNC 加工經驗，適用於微小間隙量測與設備調整作業，協助降低金屬工具可能造成的刮傷與干擾風險。
依不同製程條件，提供 PEEK、PTFE、PI/Vespel等非金屬材料的選用評估，對應高溫、濕製程或靜電敏感等使用環境。
針對機台結構、操作動線與量測需求，提供客製化治設計與少量製作服務，支援研發測試、維修作業與製程導入階段。
針對量測類治具進行必要的尺寸檢測，並依無塵室使用需求提供雷射或機刻標示方式，協助產品管理與基本溯源。
核心優勢 (Why SY-Tech?)
1. 具備半導體設備背景的工程團隊
我們的團隊具備半導體設備相關經驗，不僅理解加工需求，也熟悉實際 PM 維修流程，例如 O-ring 拆卸方式、間隙量測操作手感與機台內部使用情境。可協助客戶在治具結構與材料選用上進行調整，降低開發過程中的試錯成本，並支援標準維修流程（SOP）的建立。
2. 0.1 mm 等級 CNC 精密塑膠加工能力
我們專注於 PEEK、Vespel 等高性能塑膠材料的 CNC 加工，具備製作 0.1 mm 等級薄型量具 的經驗，可相較於市售沖壓量具，提供更穩定的尺寸控制與加工彈性。適用於微小間隙量測需求，並降低使用金屬工具可能帶來的刮傷風險。
3. 依製程需求選用合適非金屬材料
針對不同製程環境，我們提供多樣化的非金屬材料選擇，包括抗靜電 PEEK、耐酸鹼 PTFE，以及耐高溫 PI（Vespel）等。透過單一窗口即可評估不同製程條件下的材料適配性，協助客戶降低使用金屬治具的潛在風險。
4. 客製化設計與彈性交期支援
我們不受制於固定規格或大量訂購門檻，可依機台結構與實際操作需求，提供長柄、彎角或特殊形狀的治具設計。無論是研發階段打樣，或因應產線維修需求的少量製作，皆可配合客戶時程進行調整。
5. 品質檢測與產品標示管理
針對薄型量具產品，廠內搭配影像量測設備進行尺寸檢測。產品標示則依材質與使用環境，提供雷射或機刻方式，避免油墨脫落造成汙染，符合無塵室使用與基本溯源管理需求。
解決常見製程挑戰
透過工程手段，解決金屬工具在製程現場衍生的技術難題：
| 常見現場挑戰 | 我們的工程解決方案 |
|---|---|
| 金屬量具刮傷鍍膜/晶圓 | PEEK 厚薄規：利用材料硬度差異 (Hardness Differential)，確保量測接觸時不損傷工件表面。 |
| 拆 O-ring 損傷密封槽 | PEEK 拆卸治具：設計特定幾何鉤頭，在施力點集中於 O-ring 的同時，保護金屬溝槽面。 |
| 高溫維修工具失效 | PEEK/PI 起子：選用高熱變形溫度 (HDT) 材料，在 260°C~300°C 環境下維持機械剛性。 |
| 靜電擊穿敏感元件 | ESD 工具：嚴格控制表面電阻率 (Surface Resistivity)，安全導除靜電電荷。 |
| 酸氣導致工具腐蝕 | PTFE 工具：利用氟聚合物的化學惰性，徹底解決金屬氧化生鏽問題。 |
| 微小死角無法量測 | 客製化 CNC 加工：利用 CNC 多軸加工能力，製作特殊形狀與長柄量具，突破幾何限制。 |
適用產業與應用模組
專注於半導體前段 (Front-End) 與後段 (Back-End) 製程，提供模組化的非金屬治具支援：
涵蓋 Etch, PVD, CVD。提供 Showerhead 間隙量測、O-ring 更換、Liner 拆裝工具。
涵蓋 Diffusion / Furnace。提供耐高溫量測與鎖附工具。
涵蓋 Wet Bench / Cleaning。提供耐酸鹼起子、晶圓撈取治具、噴嘴校正工具。
涵蓋 Lithography / Sorter。提供 Robot 校正階梯規、Cassette 檢查治具、ESD 防護工具。
📘 實績案例：量測穩定度與效率提升
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我們以嚴謹的製造流程與工程塑膠材料應用經驗，穩定支援設備校正、維修與製程需求，作為提升製程穩定性與設備可靠度的工程支援夥伴。
