VESPEL Gasflusskomponente
Hochtemperatur VESPEL / PEEK Gasflusskomponente für Halbleiter-Plasma-Prozesse
Scm, Plasma, Dualgas
Unser Gasflusskomponente (Scm, Plasma, Dual Gas) ist ein kleines gasführendes Teil, das für den Einsatz in LAM-Plasma-Prozessumgebungen entwickelt wurde. Sie kann gemäß den Kundenanforderungen aus DuPont™ VESPEL®, antistatischen oder standardmäßigen PEEK-Materialien hergestellt werden. Die Komponente bietet hervorragende Wärmebeständigkeit, elektrische Isolierung und chemische Stabilität, sodass sie hohen Temperaturen und Vakuumbedingungen in Plasmaumgebungen standhalten kann, während sie ihre strukturelle Integrität und Sauberkeit bewahrt.
Das präzisionsgefertigte Design gewährleistet eine zuverlässige Gasflussführung, Positionierung und Unterstützungsfunktionen, die eine langfristig stabile Leistung in Halbleiterprozessen ermöglichen.
Produktvorteile
- Hergestellt aus DuPont™ VESPEL®-Material, das hervorragende Hitzebeständigkeit und dimensionsstabilität bietet.
- Überlegene elektrische Isolierung zur Vermeidung von Plasmaentladungseinflüssen.
- Beständig gegen Säuren, Laugen und chemische Korrosion, geeignet für den langfristigen Einsatz in Plasma-Prozessen.
- Präzise gefertigt durch CNC-Bearbeitung, um konsistente Gasflusskanäle zu gewährleisten.
- Anwendbar für Hochtemperatur- und Hochvakuumumgebungen.
- Maßgeschneiderte Designs gemäß Kundenzeichnungen oder -spezifikationen verfügbar, mit Unterstützung für Kleinserienproduktion.
Produktanwendungen
Verfügbar in VESPEL, antistatischen oder standardmäßigen PEEK-Materialien basierend auf den Prozessbedingungen,
mit hervorragender Wärmebeständigkeit, Isolierung und chemischer Beständigkeit, ideal für den langfristigen Einsatz in Hochtemperatur- und Vakuumumgebungen.
- Verwendet als Gasleit- oder Unterstützungskomponenten in Plasmaätzprozessen.
- Hilfskonstruktionen, die helfen, den Gasfluss zu lenken oder zu isolieren.
- Geeignet für hochreine und chemisch resistente Umgebungen.
- Kompatibel mit LAM-Systemen und anderen Plasmaverarbeitungsgeräten.
Wenn Sie Unterstützung bei der Bewertung der Materialauswahl, der dimensionalen Gestaltung oder der Anpassung von gasführenden Komponenten benötigen, bieten wir professionelle Beratungs- und Angebotsdienste an.
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CNC-gefertigtes VESPEL®-Gasflusskomponente für Hochtemperaturumgebungen | PEEK & PI Kunststoff CNC-Bearbeitungshersteller | Shen-Yueh (SYT)
Seit 2006 in Taiwan ansässig, ist Shen-Yueh Technology Co., Ltd. ein Hersteller von CNC-Kunststoff- und Metallbearbeitung in der Metallverarbeitungsindustrie. Ihre Hauptversorgung mit CNC-Bearbeitungen umfasst VESPEL-Gasflusskomponenten, CNC-Kunststoffbearbeitung, Luftmesserproduktionen, PEEK-Kunststoffbearbeitung und -fertigung, CNC-Metallbearbeitung, Polyimid (PI) Kunststoff-CNC-Bearbeitung und -Fräsen sowie Lager, die mit erweiterten Produktionskapazitäten, kurzen Lieferzeiten und besserem Kundenservice geliefert werden.
Shen-Yueh besteht aus Fachleuten für Halbleiterausrüstung und Maschinenbau, die mit dem CNC-Fachtechnikerteam zusammenarbeiten, das über mehr als 10 Jahre Erfahrung verfügt. Der Produktionsprozess erfolgt gemäß ISO und in einer sauberen Fabrikumgebung, um hervorragende professionelle Beratungen und Dienstleistungen anzubieten! Wir konzentrieren uns auf die Bearbeitung von CNC-Teilen und die Umrüstung von Geräten in der Halbleiter- und Displayindustrie (seit 2006). Seit mehr als 10 Jahren lösen wir Probleme in den Bereichen Design, Entwicklung und Organisationsoptimierung und verlängern den Lebenszyklus von Bauteilen, reduzieren die Kosten für viele Kunden und stellen schnell Fertigungsmuster zur Verfügung, um die Entwicklungszeit der Kunden zu verkürzen.
Shen-Yueh (SYT) bietet hochwertige Fertigung von Ausrüstungsteilen für die Halbleiterfertigungsabteilung, die Panel- und umfassenden Industrien an. Mit fortschrittlicher Ingenieurtechnologie und 13 Jahren Erfahrung stellt Shen-Yueh (SYT) sicher, dass die Anforderungen jedes Kunden erfüllt werden.




