氣體分流器 | 台灣高品質氣體分流器製造商 | 申玥科技股份有限公司
申玥科技是台灣專業製造氣體分流器及提供氣體分流器服務的優良廠商(成立於西元2006年)申玥科技即是由具有半導體設備及機械加工設計的人員組成，配合經驗超過10年的CNC專業技師團隊，以及符合ISO精神的生產流程及乾淨整潔的工廠環境，提供絕佳的專業諮詢與服務！自2006年成立至今已經服務超過上百家客戶，產業包含半導體、光電、生醫、太陽能及其他傳統產業。.
氣體分流器
適用於電漿製程的高溫塑膠氣體導引零件
Scm, Plasma, Dual Gas
我們製作的氣體分流器(Scm, Plasma, Dual Gas) 為應用於 LAM 電漿製程環境的小型氣體導引零件，可依需求選用 VESPEL、抗靜電 或一般 PEEK 材質 製作。產品具備優異的耐熱性、電絕緣性與化學穩定性，可承受電漿環境中的高溫與真空條件，維持結構穩定與潔淨度。其精密加工設計適用於製程氣體導引、定位與支撐用途，確保零件長期穩定運作。
產品優點
- 採用 DuPont™ VESPEL® 材質，具高耐熱與優異尺寸穩定性
- 電絕緣性佳，防止電漿放電干擾
- 耐酸鹼與化學藥液腐蝕，可長期使用於 Plasma 製程
- 精密 CNC 加工 製成，確保氣體通道流量一致性
- 適用於高溫、高真空環境
- 可依客戶圖面或規格客製化設計，並提供少量製作服務
產品應用
可依製程條件選用 VESPEL、抗靜電 或一般 PEEK 材質 製作，
具備優異的耐熱性、絕緣性與耐化學性，適合在高溫與真空環境下長期使用。
- 電漿蝕刻（Plasma Etching）製程內的氣體導引與支撐零件。
- 幫助氣體導向或隔離的輔助結構。
- 適用於需要高潔淨、耐化學的環境。
- 可搭配 LAM 系統或其他電漿設備使用。
若您需要評估氣體導引零件的材質選擇、尺寸設計或客製化方案，我們提供專業建議與報價服務。
歡迎填寫以下表單，我們將盡快回覆您的需求。
