气体分流器 | 台湾高品质气体分流器制造商 | 申玥科技股份有限公司
申玥科技是台湾专业制造气体分流器及提供气体分流器服务的优良厂商(成立于西元2006年)申玥科技即是由具有半导体设备及机械加工设计的人员组成，配合经验超过10年的CNC专业技师团队，以及符合ISO精神的生产流程及干净整洁的工厂环境，提供绝佳的专业咨询与服务！自2006年成立至今已经服务超过上百家客户，产业包含半导体、光电、生医、太阳能及其他传统产业。 .
气体分流器
适用于电浆制程的高温塑胶气体导引零件
Scm, Plasma, Dual Gas
我们制作的气体分流器(Scm, Plasma, Dual Gas) 为应用于LAM 电浆制程环境的小型气体导引零件，可依需求选用VESPEL、抗静电或一般PEEK 材质制作。产品具备优异的耐热性、电绝缘性与化学稳定性，可承受电浆环境中的高温与真空条件，维持结构稳定与洁净度。其精密加工设计适用于制程气体导引、定位与支撑用途，确保零件长期稳定运作。
产品优点
- 采用DuPont™ VESPEL® 材质，具高耐热与优异尺寸稳定性
- 电绝缘性佳，防止电浆放电干扰
- 耐酸碱与化学药液腐蚀，可长期使用于Plasma 制程
- 精密CNC 加工制成，确保气体通道流量一致性
- 适用于高温、高真空环境
- 可依客户图面或规格客制化设计，并提供少量制作服务
产品应用
可依制程条件选用VESPEL、抗静电或一般PEEK 材质制作，
具备优异的耐热性、绝缘性与耐化学性，适合在高温与真空环境下长期使用。
- 电浆蚀刻（Plasma Etching）制程内的气体导引与支撑零件。
- 帮助气体导向或隔离的辅助结构。
- 适用于需要高洁净、耐化学的环境。
- 可搭配LAM 系统或其他电浆设备使用。
若您需要评估气体导引零件的材质选择、尺寸设计或客制化方案，我们提供专业建议与报价服务。
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