VESPEL 가스 흐름 구성 요소 | PEEK 및 PI 플라스틱 CNC 가공 제조업체 | Shen-Yueh (SYT)

우리의 가스 흐름 구성 요소(Scm, Plasma, Dual Gas)는 LAM 플라즈마 프로세스 환경에서 사용하기 위해 설계된 소형 가스 유도 부품입니다. 고객 요구 사항에 따라 DuPont™ VESPEL®, 정전기 방지 또는 표준 PEEK 재료로 제조할 수 있습니다. 이 구성 요소는 우수한 내열성, 전기 절연성 및 화학적 안정성을 특징으로 하여 플라즈마 환경에서 높은 온도와 진공 조건을 견디면서 구조적 무결성과 청결성을 유지합니다.
정밀 가공된 디자인은 신뢰할 수 있는 가스 흐름 안내, 위치 지정 및 지원 기능을 보장하여 반도체 공정에서 장기적으로 안정적인 성능을 가능하게 합니다.Shen-Yueh (SYT)는 2006년부터 대만의 고품질 VESPEL 가스 흐름 구성 요소 제조업체입니다, CNC 가공된 VESPEL® 가스 흐름 구성 요소 (고온 환경용).

Scm, 플라즈마, 이중 가스 / PEEK 및 PI 플라스틱 CNC 가공 제조업체 | Shen-Yueh (SYT)

CNC 가공된 VESPEL® 가스 흐름 구성 요소 (고온 환경용) / 저희는 2006년 이후 반도체 및 패널 산업에서 CNC 부품 가공 및 장비 개조 경험에 초점을 맞추고 있습니다.

VESPEL 가스 흐름 구성 요소 - CNC 가공된 VESPEL® 가스 흐름 구성 요소 (고온 환경용)
  • VESPEL 가스 흐름 구성 요소 - CNC 가공된 VESPEL® 가스 흐름 구성 요소 (고온 환경용)
  • CNC 가공된 VESPEL® 가스 흐름 구성 요소 (플라즈마 공정용)
  • CNC 가공된 PEEK 가스 흐름 구성 요소 (플라즈마 가스 안내용)
  • 정전기 방지 PEEK 가스 흐름 구성 요소 (열 및 화학적 안정성)
VESPEL 가스 흐름 구성 요소
반도체 플라즈마 공정을 위한 고온 VESPEL / PEEK 가스 흐름 구성 요소

Scm, 플라즈마, 이중 가스

우리의 가스 흐름 구성 요소(Scm, Plasma, Dual Gas)는 LAM 플라즈마 프로세스 환경에서 사용하기 위해 설계된 소형 가스 유도 부품입니다. 고객 요구 사항에 따라 DuPont™ VESPEL®, 정전기 방지 또는 표준 PEEK 재료로 제조할 수 있습니다. 이 구성 요소는 우수한 내열성, 전기 절연성 및 화학적 안정성을 특징으로 하여 플라즈마 환경에서 높은 온도와 진공 조건을 견디면서 구조적 무결성과 청결성을 유지합니다.

정밀 가공된 디자인은 신뢰할 수 있는 가스 흐름 안내, 위치 지정 및 지원 기능을 보장하여 반도체 공정에서 장기적으로 안정적인 성능을 가능하게 합니다.

제품 장점
  • DuPont™ VESPEL® 소재로 제작되어 뛰어난 열 저항성과 치수 안정성을 제공합니다.
  • 플라즈마 방전 간섭을 방지하기 위한 우수한 전기 절연성.
  • 산, 알칼리 및 화학적 부식에 강하여 플라즈마 공정에서 장기 사용에 적합합니다.
  • CNC 가공으로 정밀하게 제조되어 일관된 가스 흐름 채널을 보장합니다.
  • 고온 및 고진공 환경에 적용 가능합니다.
  • 고객 도면이나 사양에 따라 맞춤형 디자인이 가능하며, 소량 생산 지원이 가능합니다.
제품 응용 분야

공정 조건에 따라 VESPEL, 정전기 방지 또는 표준 PEEK 재료로 제공됩니다.
우수한 내열성, 절연성 및 화학 저항성을 특징으로 하며, 고온 및 진공 환경에서 장기 사용에 적합합니다.

  • 플라즈마 에칭 공정 내에서 가스를 안내하거나 지지하는 구성 요소로 사용됩니다.
  • 가스 흐름을 유도하거나 격리하는 데 도움을 주는 보조 구조물입니다.
  • 고순도 및 화학 저항성이 요구되는 환경에 적합합니다.
  • LAM 시스템 및 기타 플라즈마 가공 장비와 호환됩니다.

재료 선택, 치수 설계 또는 가스 유도 구성 요소의 맞춤화 평가에 도움이 필요하시면, 저희는 전문 상담 및 견적 서비스를 제공합니다.
아래 양식을 작성해 주시면, 가능한 한 빨리 귀하의 요청에 답변드리겠습니다.


저희 서비스 라인

이메일로 문의해주세요

자세한 내용은

CNC 가공된 VESPEL® 가스 흐름 구성 요소 (고온 환경용) | PEEK 및 PI 플라스틱 CNC 가공 제조업체 | Shen-Yueh (SYT)

2006년부터 대만에 위치한 Shen-Yueh Technology Co., Ltd.는 금속 가공 산업에서 CNC 플라스틱 및 금속 가공 제조업체로 활동하고 있습니다. 그들의 주요 CNC 가공 공급품에는 VESPEL 가스 흐름 구성 요소, CNC 플라스틱 가공, 공기 나이프 생산, PEEK 플라스틱 가공 및 제작, CNC 금속 가공, 폴리이미드(PI) 플라스틱 CNC 가공 및 밀링, 그리고 베어링이 포함되며, 이는 확장된 생산 능력, 짧은 리드 타임 및 더 나은 고객 서비스와 함께 제공됩니다.

'SHEN-YUEH'는 반도체 장비 및 가공 설계 인력과 CNC 전문 기술자 팀과 협력하여 10년 이상의 경험을 갖춘 팀입니다. 생산 과정은 ISO에 따라 수행되며 깨끗한 공장 환경에서 우수한 전문 상담과 서비스를 제공합니다! 우리는 반도체 및 패널 산업에서의 CNC 부품 가공 및 장비 개조 경험에 초점을 두고 있습니다 (2006년 이후). 10년 이상 동안, 우리는 디자인, 개발 및 조직 최적화 문제를 해결하고 부품의 수명을 증가시키며 많은 고객들에게 비용을 절감하고 제조 샘플을 신속히 제공하여 고객의 개발 시간을 단축시켰습니다.

Shen-Yueh (SYT)는 세미콘덕터 제조부문, 패널 및 종합 산업에 대한 고품질 장비 부품 제조를 제공해 왔으며, 선진 기술과 13년의 경험을 바탕으로 Shen-Yueh (SYT)는 각 고객의 요구를 충족시킵니다.