Photoresist-Abdeckplatte
Unsere Fotolack-Abdeckplatte ist für Spin-Beschichtungsgeräte konzipiert, die in der Photolithographie von Halbleitern verwendet werden. Sie hilft, den Flussweg der Fotolackflüssigkeiten während der Beschichtung zu steuern, reduziert Spritzer und Überlauf, während sie die Sauberkeit im Gerätebereich aufrechterhält und eine stabile Verarbeitungsumgebung gewährleistet.
Das Produkt wird aus hochfesten Aluminiumlegierungen oder chemisch beständigen Materialien hergestellt, kombiniert mit präziser CNC-Bearbeitung und speziellen Oberflächenbehandlungen. Dies gewährleistet eine hervorragende dimensionsstabilität und Haltbarkeit, selbst bei Hochgeschwindigkeitsrotation und chemischer Exposition, was es für verschiedene Spin-Coating-Geräte in der Halbleiter-Photolithographie geeignet macht.
Produktvorteile
- Zwei-teilige Split-Struktur: Entworfen mit einer symmetrischen zwei-teiligen Struktur, die präzise Scharniere und Verriegelungsmechanismen aufweist, die eine schnelle Installation, Entfernung und Reinigung ermöglichen und gleichzeitig die Wartungszeit der Geräte reduzieren.
- Hochpräzise CNC-Bearbeitung: Präzise CNC-Bearbeitung gewährleistet kontrollierte Rundheit und Ebenheit, sodass die Abdeckplatte gut mit der Gerätestruktur passt und eine stabile Spin-Beschichtungsleistung aufrechterhält.
- Ausgezeichnete chemische Beständigkeit: Oberflächenbehandlungen wie Eloxieren, hartes Eloxieren oder spezielle Beschichtungen bieten eine hohe Beständigkeit gegen Lösungsmittel und chemische Einflüsse, geeignet für Umgebungen zur Verarbeitung von Fotolacken.
- Niedrige Partikelerzeugung: Eine feine Oberflächenbearbeitung reduziert die Flüssigkeitsadhäsion und die Partikelerzeugung und erfüllt strenge Anforderungen an die Kontaminationskontrolle im Reinraum.
- Anpassungsfähigkeit im Design: Das Design und die Herstellung können gemäß den Anforderungen der Ausrüstung angepasst werden.
Anwendungen
- Halbleiter-Photolithographie-Prozess: Wird in Spin-Beschichtungsanlagen zur Steuerung des Fotoresistflusses und zum Spritzschutz verwendet.
- Wafer-Kanten-Schutz: Hilft, chemische Kontaminationen an den Kanten und der Rückseite des Wafers während der Verarbeitung zu reduzieren.
- Austausch von Gerätekomponenten: Geeignet als Ersatzteile für verschiedene gängige Halbleiter-Photolithographie-Anlagen.
Photoresist-Abdeckplatte, die für Photolithographieprozesse in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde, verwendet in Spin-Beschichtungsanlagen (Spin Coater). | PEEK & PI Kunststoff CNC-Bearbeitungshersteller | Shen-Yueh (SYT)
Seit 2006 in Taiwan ansässig, ist Shen-Yueh Technology Co., Ltd. ein Hersteller von CNC-Kunststoff- und Metallbearbeitung in der Metallverarbeitungsindustrie. Ihre Hauptversorgung mit CNC-Bearbeitungen umfasst Fotolack-Abdeckplatten, CNC-Kunststoffbearbeitung, Luftmesserproduktionen, PEEK-Kunststoffbearbeitung und -Fertigung, CNC-Metallbearbeitung, Polyimid (PI) Kunststoff-CNC-Bearbeitung und -Fräsen sowie Lager, die mit erweiterten Produktionskapazitäten, kurzen Lieferzeiten und besserem Kundenservice geliefert werden.
Shen-Yueh besteht aus Fachleuten für Halbleiterausrüstung und Maschinenbau, die mit dem CNC-Fachtechnikerteam zusammenarbeiten, das über mehr als 10 Jahre Erfahrung verfügt. Der Produktionsprozess erfolgt gemäß ISO und in einer sauberen Fabrikumgebung, um hervorragende professionelle Beratungen und Dienstleistungen anzubieten! Wir konzentrieren uns auf die Bearbeitung von CNC-Teilen und die Umrüstung von Geräten in der Halbleiter- und Displayindustrie (seit 2006). Seit mehr als 10 Jahren lösen wir Probleme in den Bereichen Design, Entwicklung und Organisationsoptimierung und verlängern den Lebenszyklus von Bauteilen, reduzieren die Kosten für viele Kunden und stellen schnell Fertigungsmuster zur Verfügung, um die Entwicklungszeit der Kunden zu verkürzen.
Shen-Yueh (SYT) bietet hochwertige Fertigung von Ausrüstungsteilen für die Halbleiterfertigungsabteilung, die Panel- und umfassenden Industrien an. Mit fortschrittlicher Ingenieurtechnologie und 13 Jahren Erfahrung stellt Shen-Yueh (SYT) sicher, dass die Anforderungen jedes Kunden erfüllt werden.



