포토레지스트 커버 플레이트 | PEEK 및 PI 플라스틱 CNC 가공 제조업체 | Shen-Yueh (SYT)
우리의 포토레지스트 커버 플레이트는 반도체 포토리소그래피 공정에 사용되는 스핀 코팅 장비를 위해 설계되었습니다. 이는 코팅 중 포토레지스트 액체의 흐름 경로를 제어하여 튐과 넘침을 줄이고 장비 챔버 내부의 청결을 유지하며 안정적인 가공 환경을 보장합니다.
이 제품은 고강도 알루미늄 합금 또는 화학 저항성 소재를 사용하여 제조되며, 정밀 CNC 가공 및 특수 표면 처리가 결합되어 있습니다. 이는 고속 회전 및 화학 노출에서도 우수한 치수 안정성과 내구성을 보장하여 다양한 반도체 포토리소그래피 스핀 코팅 장비에 적합합니다.Shen-Yueh (SYT)는 2006년부터 대만에서 고품질 포토레지스트 커버 플레이트, 반도체 포토리소그래피 공정을 위해 설계된 포토레지스트 커버 플레이트로, 스핀 코팅 장비(스핀 코터)에서 사용됩니다. 제조업체입니다.
포토레지스트 커버 플레이트
우리의 포토레지스트 커버 플레이트는 반도체 포토리소그래피 공정에 사용되는 스핀 코팅 장비를 위해 설계되었습니다. 이는 코팅 중 포토레지스트 액체의 흐름 경로를 제어하여 튐과 넘침을 줄이고 장비 챔버 내부의 청결을 유지하며 안정적인 가공 환경을 보장합니다.
이 제품은 고강도 알루미늄 합금 또는 화학 저항성 소재를 사용하여 제조되며, 정밀 CNC 가공 및 특수 표면 처리가 결합되어 있습니다. 이는 고속 회전 및 화학 노출에서도 우수한 치수 안정성과 내구성을 보장하여 다양한 반도체 포토리소그래피 스핀 코팅 장비에 적합합니다.
제품 장점
- 이중 분할 구조: 정밀 경첩과 잠금 메커니즘이 특징인 대칭 이중 구조로 설계되어 신속한 설치, 제거 및 청소가 가능하며 장비 유지 관리 시간을 줄입니다.
- 고정밀 CNC 가공: 정밀 CNC 가공은 제어된 원형과 평면을 보장하여 커버 플레이트가 장비 구조에 잘 맞고 안정적인 스핀 코팅 성능을 유지할 수 있도록 합니다.
- 우수한 화학 저항성: 아노다이징, 경질 아노다이징 또는 특수 코팅과 같은 표면 처리는 용매 및 화학 물질 노출에 대한 강한 저항을 제공하며, 포토레지스트 가공 환경에 적합합니다.
- 낮은 입자 생성: 미세한 표면 마감은 액체 접착력과 입자 생성을 줄여 엄격한 클린룸 오염 제어 요구 사항을 충족합니다.
- 맞춤형 디자인 기능: 디자인 및 제조는 장비 요구 사항에 따라 맞춤화할 수 있습니다.
응용 프로그램
- 반도체 포토리소그래피 공정: 포토레지스트 흐름 제어 및 스플래시 보호를 위해 스핀 코팅 장비에서 사용됩니다.
- 웨이퍼 엣지 보호: 가공 중 웨이퍼 엣지와 뒷면의 화학 오염을 줄이는 데 도움을 줍니다.
- 장비 구성 요소 교체: 다양한 주류 반도체 포토리소그래피 장비의 교체 부품으로 적합합니다.
인기 제품
반도체 포토리소그래피 공정을 위해 설계된 포토레지스트 커버 플레이트로, 스핀 코팅 장비(스핀 코터)에서 사용됩니다. | PEEK & PI 플라스틱 CNC 가공 제조업체 | Shen-Yueh (SYT)
2006년부터 대만에 위치한 Shen-Yueh Technology Co., Ltd.는 금속 가공 산업에서 CNC 플라스틱 및 금속 가공 제조업체로 활동하고 있습니다. 그들의 주요 CNC 가공 공급품에는 포토레지스트 커버 플레이트, CNC 플라스틱 가공, 에어 나이프 생산, PEEK 플라스틱 가공 및 제작, CNC 금속 가공, 폴리이미드(PI) 플라스틱 CNC 가공 및 밀링, 그리고 베어링이 포함되며, 이는 확장된 생산 능력, 짧은 리드 타임 및 더 나은 고객 서비스와 함께 제공됩니다.
Shen-Yueh는 10년 이상의 경험을 가진 CNC 전문 기술자 팀과 협력하는 반도체 장비 및 기계 설계 인력으로 구성되어 있습니다. 생산 과정은 ISO 및 청정 공장 환경에 따라 수행되어 우수한 전문 상담 및 서비스를 제공합니다! 우리는 반도체 및 패널 산업에서 CNC 부품 가공 및 장비 변환 경험에 집중하고 있습니다 (2006년부터). 10년 이상 동안 우리는 디자인, 개발 및 조직 최적화 문제를 해결하고 부품의 수명을 늘리며 많은 고객의 비용을 절감하고 고객의 개발 시간을 단축하기 위해 신속하게 제조 샘플을 제공했습니다.
Shen-Yueh (SYT)는 반도체 제조 부서, 패널 및 종합 산업을 위한 고품질 장비 부품 제조를 제공하고 있으며, 첨단 엔지니어링 기술과 13년의 경험을 바탕으로 각 고객의 요구를 충족합니다.