• 两片对开式结构设计：采用两片式对开结构，搭配精密转轴与锁附机构，方便快速拆装与清洁维护，可有效缩短设备保养与维修时间。
• 高精密CNC 加工：透过精密CNC 加工控制真圆度与平面度，使盖板与设备结构良好贴合，提升旋涂制程的稳定性。
• 优异的耐化学性：表面可进行阳极处理、硬质阳极或特殊涂层处理，具备良好的耐溶剂与耐酸碱特性，适用于光阻制程环境。
• 低发尘设计（Low Particle）：细致的表面加工可降低药液附着与微粒产生，符合无尘室制程对低污染的要求。
• 依客户设备需求设计：可依设备需求进行设计与制作。

产品应用

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我们可依实际使用环境评估材料与结构配置，提供专属客制化设计建议。