• 兩片對開式結構設計： 採用兩片式對開結構，搭配精密轉軸與鎖附機構，方便快速拆裝與清潔維護，可有效縮短設備保養與維修時間。
• 高精密 CNC 加工： 透過精密 CNC 加工控制真圓度與平面度，使蓋板與設備結構良好貼合，提升旋塗製程的穩定性。
• 優異的耐化學性： 表面可進行陽極處理、硬質陽極或特殊塗層處理，具備良好的耐溶劑與耐酸鹼特性，適用於光阻製程環境。
• 低發塵設計（Low Particle）： 細緻的表面加工可降低藥液附著與微粒產生，符合無塵室製程對低污染的要求。
• 依客戶設備需求設計： 可依設備需求進行設計與製作。

產品應用

若您有設備圖面、樣品或製程條件需求，歡迎與我們聯繫。
我們可依實際使用環境評估材料與結構配置，提供專屬客製化設計建議。