TR-Roboter-Schiebe-Kamm
Wafer-Schiebe- und Führungsbauteil für Automatisierungsgeräte in der Halbleitertechnik
Unser TR-ROBOT PUSHING COMB wird aus hochleistungsfähigen Fluorpolymer-Engineering-Kunststoffen hergestellt und ist speziell für Anwendungen zum Schieben, Führen und Positionieren von Wafern in der Halbleiterautomatisierungstechnik konzipiert.
Mit einer strukturierten Führungsfläche und symmetrischem Rillendesign bietet er stabilen Halt während des Transfers von Wafern oder Substraten, reduziert Fehlstellungen und Kantenschäden und sorgt für eine reibungslose und gleichmäßige Schiebebewegung.
Die ausgewählten Fluorpolymermaterialien zeichnen sich durch eine geringe Feuchtigkeitsaufnahme, hervorragende chemische Beständigkeit und hohe dimensionsstabilität aus, was sie für Nassprozesse und hochreine Umgebungen geeignet macht. Die Komponente behält über einen langen Betriebszeitraum hinweg die strukturelle Präzision bei und erfüllt die Anforderungen an Halbleitergeräte hinsichtlich geringer Reibung, geringer Ausgasung und hoher Zuverlässigkeit.
Produktvorteile
- Ausgezeichnete chemische Beständigkeit: geeignet für starke Säuren, Laugen und organische Lösungsmittelumgebungen
- Stabile thermische Leistung: zuverlässig für den langfristigen Einsatz bei Temperaturschwankungen im Prozess
- Niedrigfriktioneller Kontakt: reduziert das Risiko von Waferkratzern und Kantenschäden
- Führungsstrukturdesign: sorgt für eine stabile Schubbewegung mit minimaler Abweichung
- Geringe Feuchtigkeitsaufnahme und dimensionsstabil: widerstandsfähig gegen Deformationen durch Feuchtigkeit oder Temperaturänderungen
- Niedrige Ausgasungseigenschaften: erfüllt die Anforderungen an hochreine Prozesse
Anwendungen
- Roboter-Transfermodule für Automatisierungsgeräte in der Halbleiterindustrie
- Wafer-Schieben und -Positionieren in Ladeports und Pufferspeichern
- Endführung und Schutzkomponenten für Wafer-Handhabungssysteme
Produktspezifikationen
Artikel | Beschreibung der Anpassung |
Materialauswahl | Hochreine Fluorpolymermaterialien (PFA, PTFE, PVDF) oder andere Hochleistungs-Kunststoffe, die basierend auf den Prozessanforderungen ausgewählt werden |
Chemische Beständigkeit | Material- und Strukturdesign optimiert für starke Säuren, starke Basen oder starke oxidierende Umgebungen gemäß den tatsächlichen Prozessbedingungen |
Bearbeitungsgenauigkeit | Hochpräzise CNC-Bearbeitung gewährleistet eine konsistente Zahngeometrie, dimensionsstabilität und eine glatte Oberflächenbeschaffenheit |
Anwendbare Größen | Maßgeschneidert zur Unterstützung von 4"–12" Wafern oder speziellen Wafer/Substratgrößen basierend auf den Anforderungen von Geräten und Prozessen |
Wenn Sie Geräteskizzen, Muster oder spezifische Prozessanforderungen haben, zögern Sie bitte nicht, uns zu kontaktieren.
Wir werden die Materialauswahl und die strukturelle Konfiguration basierend auf den tatsächlichen Betriebsbedingungen bewerten und maßgeschneiderte Designempfehlungen geben.
Hergestellt aus hochleistungsfähigen Fluorpolymer-Engineering-Kunststoffen, entwickelt für automatisierte Wafer-Schiebeanwendungen in der Halbleiterindustrie | PEEK & PI Kunststoff CNC-Bearbeitungshersteller | Shen-Yueh (SYT)
Seit 2006 in Taiwan ansässig, ist Shen-Yueh Technology Co., Ltd. ein Hersteller von CNC-Kunststoff- und Metallbearbeitung in der Metallverarbeitungsindustrie. Ihre Hauptversorgung mit CNC-Bearbeitungsmaschinen umfasst TR-Robot Schiebekämme, CNC-Kunststoffbearbeitung, Luftmesserproduktionen, PEEK-Kunststoffbearbeitung und -fertigung, CNC-Metallbearbeitung, Polyimid (PI) Kunststoff-CNC-Bearbeitung und -Fräsen sowie Lager, die mit erweiterten Produktionskapazitäten, kurzen Lieferzeiten und besserem Kundenservice geliefert werden.
Shen-Yueh besteht aus Fachleuten für Halbleiterausrüstung und Maschinenbau, die mit dem CNC-Fachtechnikerteam zusammenarbeiten, das über mehr als 10 Jahre Erfahrung verfügt. Der Produktionsprozess erfolgt gemäß ISO und in einer sauberen Fabrikumgebung, um hervorragende professionelle Beratungen und Dienstleistungen anzubieten! Wir konzentrieren uns auf die Bearbeitung von CNC-Teilen und die Umrüstung von Geräten in der Halbleiter- und Displayindustrie (seit 2006). Seit mehr als 10 Jahren lösen wir Probleme in den Bereichen Design, Entwicklung und Organisationsoptimierung und verlängern den Lebenszyklus von Bauteilen, reduzieren die Kosten für viele Kunden und stellen schnell Fertigungsmuster zur Verfügung, um die Entwicklungszeit der Kunden zu verkürzen.
Shen-Yueh (SYT) bietet hochwertige Fertigung von Ausrüstungsteilen für die Halbleiterfertigungsabteilung, die Panel- und umfassenden Industrien an. Mit fortschrittlicher Ingenieurtechnologie und 13 Jahren Erfahrung stellt Shen-Yueh (SYT) sicher, dass die Anforderungen jedes Kunden erfüllt werden.



