TRロボット押し出しコーム
半導体自動化装置用ウエハー押し出しおよびガイディングコンポーネント
私たちのTR-ROBOTプッシングコームは、高性能フルオロポリマーエンジニアリングプラスチックで製造されており、半導体自動化装置におけるウェーハの押し出し、ガイド、および位置決めアプリケーションのために特別に設計されています。
構造化されたガイド面と対称的な溝デザインにより、ウェーハや基板の移動中に安定したサポートを提供し、ずれやエッジの損傷を減少させ、スムーズで一貫した押し出し動作を確保します。
選択されたフルオロポリマー材料は、低い水分吸収、優れた化学抵抗性、高い寸法安定性を特徴としており、湿潤プロセスや高クリーン環境に適しています。このコンポーネントは、長期間の運用において構造的精度を維持し、半導体装置の低摩擦、低ガス放出、高信頼性の要件を満たしています。
製品の利点
- 優れた化学抵抗性:強酸、アルカリ、及び有機溶剤環境に適しています。
- 安定した熱性能:プロセス温度の変動下での長期使用に信頼性があります。
- 低摩擦接触:ウェーハの傷やエッジの損傷のリスクを減らします。
- ガイド構造設計:最小限の偏差で安定した押し動作を確保します。
- 低吸湿性と寸法安定性:湿度や温度変化による変形に耐性があります。
- 低アウトガス特性:高クリーンプロセス要件を満たす
アプリケーション
- 半導体自動化装置用ロボット転送モジュール
- ロードポートおよびバッファステーションでのウェーハの押し出しと位置決め
- ウェーハハンドリングシステム用のエンドガイディングおよび保護コンポーネント
製品仕様
アイテム | カスタマイズの説明 |
材料選択 | 高純度フルオロポリマー材料(PFA、PTFE、PVDF)またはプロセス要件に基づいて選択されたその他の高性能エンジニアリングプラスチック |
化学抵抗性 | 実際のプロセス条件に応じて、強酸、強アルカリ、または強酸化環境に最適化された材料および構造設計 |
加工精度 | 高精度CNC加工により、一貫した歯形、寸法安定性、滑らかな表面仕上げが保証されます |
適用サイズ | 設備およびプロセス要件に基づいて、4"から12"のウェーハまたは特別なウェーハ/基板サイズをサポートするようにカスタム設計されています |
設備の図面、サンプル、または特定のプロセス要件がある場合は、お気軽にお問い合わせください。
実際の運用条件に基づいて材料選定と構造構成を評価し、専用のカスタム設計の推奨を提供します。
半導体自動ウエハー押し出しアプリケーション向けに設計された高性能フルオロポリマーエンジニアリングプラスチックから製造されています | PEEK & PIプラスチックCNC加工メーカー | Shen-Yueh (SYT)
2006年から台湾に位置するShen-Yueh Technology Co., Ltd.は、金属加工業界におけるCNCプラスチックおよび金属加工の製造業者です。 彼らの主なCNC加工供給品には、TRロボットプッシングコーム、CNCプラスチック加工、エアナイフ製品、PEEKプラスチック加工と製造、CNC金属加工、ポリイミド(PI)プラスチックCNC加工とフライス加工、そしてベアリングが含まれ、拡張された生産能力、短いリードタイム、より良い顧客サービスと共に提供されます。
Shen-Yuehは、10年以上の経験を持つCNC専門技術者チームと協力する半導体機器および機械設計の人員で構成されています。 生産プロセスはISOに従い、クリーンな工場環境で実施され、優れた専門的なコンサルテーションとサービスを提供します! 私たちは半導体およびパネル産業におけるCNC部品加工と設備変換の経験に注力しています(2006年から)。 10年以上にわたり、私たちはデザイン、開発、組織の最適化の問題を解決し、部品のライフサイクルを延ばし、多くの顧客のコストを削減し、顧客の開発時間を短縮するために迅速に製造サンプルを提供してきました。
Shen-Yueh (SYT)は、半導体製造部門、パネル、総合産業向けに高品質な設備部品の製造を提供しており、先進的なエンジニアリング技術と13年の経験を持っています。Shen-Yueh (SYT)は、各顧客の要求が満たされることを保証します。



