베스펠 시리즈
반도체 장비를 위한 고성능 Vespel 엔지니어링 플라스틱 구성 요소에 집중합니다.
Shen-Yueh는 반도체 장비를 위해 설계된 고품질 Vespel 가공 서비스를 제공하며, 고온, 진공, 플라즈마, 화학 저항성 및 저입자 조건에서 안정적인 성능을 보장합니다. 우리의 솔루션은 웨이퍼 처리, 포토마스크 작업, 에칭, 박막 및 CMP 공정에서 신뢰성과 생산성을 향상시키는 데 도움을 줍니다.
제품 특징:
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맞춤형 가공 능력
고객 도면에 기반한 제조 또는 샘플에서의 역설계.반도체 정밀도 및 청결 요구 사항을 충족하기 위해 여러 Vespel 등급(SP-1 / SP-21 / SP-22 / SP-211 / CR 시리즈)을 사용할 수 있습니다. -
고온 저항 및 화학 내구성
진공 챔버, 열 처리 및 플라즈마 환경에 적합합니다.고온, 산/알칼리 및 화학 가스에 대한 장기 노출을 견디며 안정적인 작동을 보장합니다. -
저입자 및 클린룸 호환성
반도체 등급의 Vespel 재료를 정밀 가공, 미세 베벨링 및 클린 포장을 결합하여 엄격한 클린룸 및 고순도 공정 요구 사항을 충족하면서 오염 위험을 최소화합니다.
응용 프로그램:
- 포토마스크 및 광학 고정구: 포토마스크 픽, 지지 블록
- 웨이퍼 핸들링: 웨이퍼 핀, 패드, 위치 지정 구성 요소
- 진공 / 열 공정: 절연 스페이서, 고정구 스페이서
- 식각 / 박막 / CVD / PECVD / 식각 공정 구성 요소
- CMP 공정: 유지 링, 지지 고정구
- 반도체 및 패널 산업을 위한 고순도 화학 저항 구성 요소
Shen-Yueh의 Vespel 반도체 부품을 선택함으로써, 전문 가공의 이점과 완전 맞춤형 솔루션을 얻을 수 있습니다. 이는 공정 신뢰성을 향상시키고, 부품 수명을 연장하며, 보다 정밀하고 효율적인 생산 작업 흐름을 위해 테스트 시간을 단축합니다.
VESPEL 가스 흐름 구성 요소
반도체 플라즈마 공정을 위한 고온 VESPEL / PEEK 가스 흐름 구성 요소
우리의 가스 흐름 구성 요소(Scm, Plasma, Dual Gas)는 LAM 플라즈마 프로세스...
세부베스펠 시리즈 | CNC 금속 및 플라스틱 CNC 가공 제조업체 | Shen-Yueh (SYT)
2006년부터 대만에 위치한 Shen-Yueh Technology Co., Ltd.는 금속 가공 산업에서 CNC 플라스틱 및 금속 가공 제조업체로 활동하고 있습니다. 그들의 주요 CNC 가공 공급품에는 VESPEL 시리즈, CNC 플라스틱 가공, 공기 나이프 생산, PEEK 플라스틱 가공 및 제작, CNC 금속 가공, 폴리이미드(PI) 플라스틱 CNC 가공 및 밀링, 그리고 베어링이 포함되며, 이는 확장된 생산 능력, 짧은 리드 타임, 그리고 더 나은 고객 서비스와 함께 제공됩니다.
'SHEN-YUEH'는 반도체 장비 및 가공 설계 인력과 CNC 전문 기술자 팀과 협력하여 10년 이상의 경험을 갖춘 팀입니다. 생산 과정은 ISO에 따라 수행되며 깨끗한 공장 환경에서 우수한 전문 상담과 서비스를 제공합니다! 우리는 반도체 및 패널 산업에서의 CNC 부품 가공 및 장비 개조 경험에 초점을 두고 있습니다 (2006년 이후). 10년 이상 동안, 우리는 디자인, 개발 및 조직 최적화 문제를 해결하고 부품의 수명을 증가시키며 많은 고객들에게 비용을 절감하고 제조 샘플을 신속히 제공하여 고객의 개발 시간을 단축시켰습니다.
Shen-Yueh (SYT)는 세미콘덕터 제조부문, 패널 및 종합 산업에 대한 고품질 장비 부품 제조를 제공해 왔으며, 선진 기술과 13년의 경험을 바탕으로 Shen-Yueh (SYT)는 각 고객의 요구를 충족시킵니다.











