Randring
Precisie-freesonderdelen voor halfgeleiderapparatuur
Onze precisie-geproduceerde halfgeleider randringen zijn ontworpen voor gebruik in kritieke processen zoals etsen, CVD/PVD en CMP.
De Edge Ring kan op maat worden ontworpen en vervaardigd op basis van uw apparatuurmodel, wafergrootte (4"–12") en vereisten voor de procesomgeving. Beschikbare materialen zijn roestvrij staal (SUS) en aluminiumlegeringen (AL), die veel worden toegepast in etsen, CVD/PVD, CMP, diffusie en andere belangrijke halfgeleiderprocessen.
Productvoordelen.
-
Betrouwbaar alternatief voor OEM-onderdelen
Wij bieden op maat gemaakte productie diensten om lange levertijden en hoge kosten van originele leveranciers aan te pakken.Reverse engineering op basis van tekeningen of monsters wordt ondersteund, van prototyping tot massaproductie. -
Hoge Precisie en Consistente Kwaliteit
De geometrie van de randring beïnvloedt rechtstreeks de uniformiteit van de waferrand en de opbrengst.We controleren de rondheid, vlakheid en oppervlakte-ruwheid door middel van CNC precisiebewerking om een stabiele kwaliteit in elke batch te waarborgen. -
Schone productie om contaminatie te minimaliseren
We gebruiken materialen van hoge zuiverheid zonder gerecycled materiaal.Alle bewerkingen en verpakkingen volgen de normen voor schone kamers om de deeltjesverontreiniging te verminderen. -
Verlengde levensduur en verlaagde onderhoudskosten
Slijtvast en hoogprecisie ontwerp helpt de levensduur te verlengen, waardoor de vervangingsfrequentie en onverwachte stilstand worden verminderd.
Product specificaties
- Wafergrootte: 4” (100 mm), 6” (150 mm), 8” (200 mm), 12” (300 mm)
- Materiaal: SUS 304 / SUS 316L, AL 6061 / AL 7075
- Oppervlaktebehandeling: Elektropolijsten (EP), Anodiseren, Mechanisch Polijsten
- Proces Toepassing: Etch, CVD / PVD, CMP, Diffusie / Oxidatie
- Verspanen: CNC Draaien & Frezen
- Tolerantie: Tot ±0.01 mm (gebaseerd op tekening)
※ Alle specificaties zijn op maat gemaakt op basis van klanttekeningen of reverse engineering monsters.
Neem contact met ons op
Voor materiaalkeuze, apparatuurcompatibiliteit of ondersteuning bij maatwerkbewerking, neem alstublieft contact met ons op:
E-mail: service@sy-tech.com.tw
Precisie-gefreesde halfgeleider randringen voor etsen, CVD/PVD en CMP-processen | PEEK & PI Plastic CNC-bewerking fabrikant | Shen-Yueh (SYT)
Gevestigd in Taiwan sinds 2006, Shen-Yueh Technology Co., Ltd. is een fabrikant van CNC kunststof- en metaalbewerking in de metaalverwerkingsindustrie. Hun belangrijkste CNC-bewerkingsbenodigdheden omvatten, randring, CNC kunststofbewerking, luchtmesproducties, PEEK kunststofbewerking en fabricage, CNC metaalbewerking, Polyimide (PI) kunststof CNC-bewerking en frezen, en lagers, die worden geleverd met uitgebreide productiecapaciteit, korte doorlooptijd en betere klantenservice.
Shen-Yueh is samengesteld uit personeel voor halfgeleiderapparatuur en machineontwerp die samenwerken met het CNC-professionele technici team, dat meer dan 10 jaar ervaring heeft. Het productieproces wordt uitgevoerd in overeenstemming met ISO en een schone fabrieksomgeving om uitstekende professionele consultaties en service te bieden! Wij richten ons op CNC-onderdelenverwerking en ervaring met apparatuurtransformatie in de halfgeleider- en paneelindustrieën (sinds 2006). Al meer dan 10 jaar lossen we problemen op het gebied van ontwerp, ontwikkeling en organisatieoptimalisatie op en verlengen we de levenscyclus van onderdelen, waardoor de kosten voor veel klanten worden verlaagd en we snel productmonsters kunnen leveren om de ontwikkelingstijd van de klant te verkorten.
Shen-Yueh (SYT) biedt hoogwaardige productie van apparatuuronderdelen voor de halfgeleiderindustrie, panelen en uitgebreide industrieën, met geavanceerde engineeringtechnologie en 13 jaar ervaring, Shen-Yueh (SYT) zorgt ervoor dat aan de eisen van elke klant wordt voldaan.

