エッジリング
半導体装置用の精密加工交換部品
私たちの精密加工された半導体エッジリングは、エッチング、CVD/PVD、CMPなどの重要なプロセスでの使用を目的としています。
エッジリングは、あなたの機器モデル、ウェーハサイズ(4"–12")、およびプロセス環境要件に基づいてカスタム設計および製造できます。利用可能な材料には、エッチング、CVD/PVD、CMP、拡散、その他の主要な半導体プロセスで広く使用されるステンレス鋼(SUS)およびアルミニウム合金(AL)が含まれます。
製品の利点
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OEM部品の信頼できる代替品
私たちは、元の供給者からの長いリードタイムと高コストに対処するためのカスタマイズされた製造サービスを提供します。図面やサンプルに基づくリバースエンジニアリングは、プロトタイピングから量産までサポートされています。 -
高精度と一貫した品質
エッジリングの形状はウェーハのエッジの均一性と歩留まりに直接影響します。私たちは、CNC精密加工を通じて丸み、平坦性、表面粗さを制御し、各バッチで安定した品質を確保しています。 -
汚染を最小限に抑えるクリーン製造
私たちはリサイクル成分を含まない高純度の材料を使用しています。すべての加工と包装は、粒子汚染を減らすためにクリーンルーム基準に従っています。 -
延長された寿命と低減されたメンテナンスコスト
耐摩耗性と高精度の設計により、サービス寿命が延び、交換頻度と予期しないダウンタイムが減少します。
製品仕様
- ウエハサイズ: 4” (100 mm), 6” (150 mm), 8” (200 mm), 12” (300 mm)
- 材料: SUS 304 / SUS 316L, AL 6061 / AL 7075
- 表面処理: 電解研磨 (EP)、陽極酸化、機械研磨
- プロセスアプリケーション: エッチング、CVD / PVD、CMP、拡散 / 酸化
- 加工: CNC旋盤加工とフライス加工
- 公差: 最大±0.01 mm(図面に基づく)
※ すべての仕様は、顧客の図面または逆エンジニアリングサンプルに基づいてカスタマイズされています。
お問い合わせ
材料選定、機器の互換性、またはカスタム加工サポートについては、お問い合わせください。
エッチング、CVD/PVD、CMPプロセス用の精密加工された半導体エッジリング | PEEK & PIプラスチックCNC加工メーカー | Shen-Yueh (SYT)
2006年から台湾に位置するShen-Yueh Technology Co., Ltd.は、金属加工業界におけるCNCプラスチックおよび金属加工の製造業者です。 彼らの主なCNC加工用品には、エッジリング、CNCプラスチック加工、エアナイフ製品、PEEKプラスチック加工と製造、CNC金属加工、ポリイミド(PI)プラスチックCNC加工とフライス加工、ベアリングが含まれ、拡張された生産能力、短いリードタイム、より良い顧客サービスと共に提供されます。
Shen-Yuehは、10年以上の経験を持つCNC専門技術者チームと協力する半導体機器および機械設計の人員で構成されています。 生産プロセスはISOに従い、クリーンな工場環境で実施され、優れた専門的なコンサルテーションとサービスを提供します! 私たちは半導体およびパネル産業におけるCNC部品加工と設備変換の経験に注力しています(2006年から)。 10年以上にわたり、私たちはデザイン、開発、組織の最適化の問題を解決し、部品のライフサイクルを延ばし、多くの顧客のコストを削減し、顧客の開発時間を短縮するために迅速に製造サンプルを提供してきました。
Shen-Yueh (SYT)は、半導体製造部門、パネル、総合産業向けに高品質な設備部品の製造を提供しており、先進的なエンジニアリング技術と13年の経験を持っています。Shen-Yueh (SYT)は、各顧客の要求が満たされることを保証します。

