Edge Ring 邊緣環 | 台灣高品質Edge Ring 邊緣環製造商 | 申玥科技股份有限公司
申玥科技是台灣專業製造Edge Ring 邊緣環及提供Edge Ring 邊緣環服務的優良廠商(成立於西元2006年)申玥科技即是由具有半導體設備及機械加工設計的人員組成，配合經驗超過10年的CNC專業技師團隊，以及符合ISO精神的生產流程及乾淨整潔的工廠環境，提供絕佳的專業諮詢與服務！自2006年成立至今已經服務超過上百家客戶，產業包含半導體、光電、生醫、太陽能及其他傳統產業。.
Edge Ring 邊緣環
半導體設備邊緣環，原廠替代件精密加工
半導體設備邊緣環（Edge Ring），可依客戶設備型號、晶圓尺寸（4吋～12吋）及製程環境需求進行客製化設計與精密加工，材質涵蓋不鏽鋼（SUS）及鋁合金（AL）系列，廣泛應用於蝕刻、CVD/PVD、CMP及擴散等半導體關鍵製程。
產品優點
- 原廠備件的最佳替代方案：
面對原廠零件交期長、報價高的困境，我們提供快速響應的客製化製造服務，依設備圖面或實品進行逆向工程，從少量打樣到批量供貨一站完成，讓您的產線不再因備料問題而停擺。 - 高精度加工，每件都符合您的標準：
邊緣環的幾何精度直接影響晶圓邊緣均勻性與良率表現。透過CNC精密車銑複合加工，嚴格管控圓度、平面度與表面粗糙度，
確保每批交付品質穩定一致，讓您用得安心。 - 潔淨製程管控，減少污染變因：
材料選用進口高純度 SUS 不鏽鋼或工業級鋁合金，不使用回收再生料，加工與包裝均符合無塵室規格，確保耗材本身不帶入粒子污染（Particle）。 - 降低備料成本，提升設備稼動率：
耐磨損、高精度的製造品質，有效延長 Edge Ring 使用壽命，減少更換頻率與非計畫停機，讓維護成本可預期、設備產能最大化，為您的生產效益帶來實質提升。
產品規格
- 晶圓尺寸對應：4吋（100mm）、6吋（150mm）、8吋（200mm）、12吋（300mm）
- 材質：不鏽鋼（SUS 304 / SUS 316L）、鋁合金（AL 6061 / AL 7075）
- 表面處理：電解拋光（EP）、陽極處理（Anodizing）、機械拋光（可依需求指定）
- 適用製程：蝕刻（Etch）、薄膜沉積（CVD / PVD）、CMP研磨、擴散／氧化
- 加工方式：CNC精密車銑複合加工
- 尺寸公差：依客戶圖面規格執行，一般精度可達 ±0.01mm 內
※ 以上規格均依客戶圖面或實品逆向工程訂製，如有特殊材質、表面處理或尺寸需求，歡迎與我們洽詢。
聯絡我們
如需進一步了解 Edge Ring 的材質選擇、設備對應方案，或提供樣品進行逆向工程打樣，歡迎立即與我們聯繫！
歡迎填寫下方表單，我們將第一時間與您聯繫，竭誠為您提供服務。
"
