Kantenring | PEEK- & PI-Kunststoff-CNC-Bearbeitungshersteller | Shen-Yueh (SYT)
Unsere präzisionsgefertigten Halbleiter-Kantenringe sind für den Einsatz in kritischen Prozessen wie Ätzen, CVD/PVD und CMP konzipiert.
Der Edge Ring kann individuell gestaltet und hergestellt werden, basierend auf Ihrem Gerätemodell, der Wafergröße (4"–12") und den Anforderungen an die Prozessumgebung. Verfügbare Materialien sind Edelstahl (SUS) und Aluminiumlegierungen (AL), die häufig in Ätzen, CVD/PVD, CMP, Diffusion und anderen wichtigen Halbleiterprozessen eingesetzt werden. Shen-Yueh (SYT) ist ein hochwertiger Edge Ring, Präzisionsbearbeitete Halbleiter-Kantenringe für Ätzen, CVD/PVD und CMP-Prozesse Hersteller aus Taiwan seit 2006.
Kantenring
Ersatzteile für Präzisionsbearbeitung von Halbleiterausrüstung
Unsere präzisionsgefertigten Halbleiter-Kantenringe sind für den Einsatz in kritischen Prozessen wie Ätzen, CVD/PVD und CMP konzipiert.
Der Edge Ring kann individuell gestaltet und hergestellt werden, basierend auf Ihrem Gerätemodell, der Wafergröße (4"–12") und den Anforderungen an die Prozessumgebung. Verfügbare Materialien sind Edelstahl (SUS) und Aluminiumlegierungen (AL), die häufig in Ätzen, CVD/PVD, CMP, Diffusion und anderen wichtigen Halbleiterprozessen eingesetzt werden.
Produktvorteile
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Zuverlässige Alternative zu OEM-Teilen
Wir bieten maßgeschneiderte Fertigungsdienstleistungen an, um lange Lieferzeiten und hohe Kosten von Originalanbietern zu bewältigen.Reverse Engineering basierend auf Zeichnungen oder Mustern wird unterstützt, von der Prototypenentwicklung bis zur Serienproduktion. -
Hohe Präzision und konsistente Qualität
Die Geometrie des Randrings beeinflusst direkt die Uniformität und den Ertrag der Waferkanten.Wir kontrollieren Rundheit, Ebenheit und Oberflächenrauhigkeit durch CNC-Präzisionsbearbeitung, um eine stabile Qualität in jeder Charge sicherzustellen. -
Saubere Herstellung zur Minimierung von Kontamination
Wir verwenden hochreine Materialien ohne Recyclinganteil.Alle Bearbeitungen und Verpackungen entsprechen den Reinraumnormen, um Partikelkontamination zu reduzieren. -
Erweiterte Lebensdauer und reduzierte Wartungskosten
Verschleißfeste und hochpräzise Konstruktion trägt zur Verlängerung der Lebensdauer bei, reduziert die Austauschhäufigkeit und unerwartete Ausfallzeiten.
Produktspezifikationen
- Wafer-Größe: 4” (100 mm), 6” (150 mm), 8” (200 mm), 12” (300 mm)
- Material: SUS 304 / SUS 316L, AL 6061 / AL 7075
- Oberflächenbehandlung: Elektrolysepolieren (EP), Eloxieren, Mechanisches Polieren
- Anwendungsprozess: Ätzen, CVD / PVD, CMP, Diffusion / Oxidation
- Bearbeitung: CNC-Drehen & Fräsen
- Toleranz: Bis zu ±0,01 mm (basierend auf der Zeichnung)
※ Alle Spezifikationen werden basierend auf Kundenzeichnungen oder Proben aus der Rückentwicklung angepasst.
Kontaktieren Sie uns
Für Materialauswahl, Gerätekompatibilität oder Unterstützung bei maßgeschneiderter Bearbeitung kontaktieren Sie uns bitte:
E-Mail: service@sy-tech.com.tw
Beliebte Produkte
Präzisionsbearbeitete Halbleiter-Kantenringe für Ätzen, CVD/PVD und CMP-Prozesse | PEEK & PI Kunststoff CNC-Bearbeitungshersteller | Shen-Yueh (SYT)
Seit 2006 in Taiwan ansässig, ist Shen-Yueh Technology Co., Ltd. ein Hersteller von CNC-Kunststoff- und Metallbearbeitung in der Metallverarbeitungsindustrie. Ihre Hauptversorgung mit CNC-Bearbeitungen umfasst Edge Ring, CNC-Kunststoffbearbeitung, Luftmesserproduktionen, PEEK-Kunststoffbearbeitung und -fertigung, CNC-Metallbearbeitung, Polyimid (PI) Kunststoff-CNC-Bearbeitung und -Fräsen sowie Lager, die mit erweiterten Produktionskapazitäten, kurzen Lieferzeiten und besserem Kundenservice geliefert werden.
Shen-Yueh besteht aus Fachleuten für Halbleiterausrüstung und Maschinenbau, die mit dem CNC-Fachtechnikerteam zusammenarbeiten, das über mehr als 10 Jahre Erfahrung verfügt. Der Produktionsprozess erfolgt gemäß ISO und in einer sauberen Fabrikumgebung, um hervorragende professionelle Beratungen und Dienstleistungen anzubieten! Wir konzentrieren uns auf die Bearbeitung von CNC-Teilen und die Umrüstung von Geräten in der Halbleiter- und Displayindustrie (seit 2006). Seit mehr als 10 Jahren lösen wir Probleme in den Bereichen Design, Entwicklung und Organisationsoptimierung und verlängern den Lebenszyklus von Bauteilen, reduzieren die Kosten für viele Kunden und stellen schnell Fertigungsmuster zur Verfügung, um die Entwicklungszeit der Kunden zu verkürzen.
Shen-Yueh (SYT) bietet hochwertige Fertigung von Ausrüstungsteilen für die Halbleiterfertigungsabteilung, die Panel- und umfassenden Industrien an. Mit fortschrittlicher Ingenieurtechnologie und 13 Jahren Erfahrung stellt Shen-Yueh (SYT) sicher, dass die Anforderungen jedes Kunden erfüllt werden.