엣지 링
반도체 장비용 정밀 가공 교체 부품
우리의 정밀 가공된 반도체 엣지 링은 에칭, CVD/PVD 및 CMP와 같은 중요한 공정에서 사용하도록 설계되었습니다.
엣지 링은 귀하의 장비 모델, 웨이퍼 크기(4”–12”) 및 공정 환경 요구 사항에 따라 맞춤 설계 및 제조할 수 있습니다. 사용 가능한 재료로는 스테인리스 스틸(SUS)과 알루미늄 합금(AL)이 있으며, 이는 에칭, CVD/PVD, CMP, 확산 및 기타 주요 반도체 공정에 널리 적용됩니다.
제품 장점
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OEM 부품에 대한 신뢰할 수 있는 대안
우리는 원래 공급업체의 긴 리드 타임과 높은 비용을 해결하기 위해 맞춤형 제조 서비스를 제공합니다.도면이나 샘플을 기반으로 한 리버스 엔지니어링이 프로토타입 제작부터 대량 생산까지 지원됩니다. -
높은 정밀도와 일관된 품질
엣지 링 기하학은 웨이퍼 엣지 균일성과 수율에 직접적인 영향을 미칩니다.우리는 CNC 정밀 가공을 통해 둥글기, 평탄도 및 표면 거칠기를 제어하여 모든 배치에서 안정적인 품질을 보장합니다. -
오염을 최소화하기 위한 청정 제조
우리는 재활용 성분이 없는 고순도 재료를 사용합니다.모든 가공 및 포장은 입자 오염을 줄이기 위해 클린룸 기준을 따릅니다. -
연장된 수명과 감소된 유지보수 비용
내마모성과 고정밀 설계가 서비스 수명을 연장하여 교체 빈도와 예기치 않은 다운타임을 줄이는 데 도움을 줍니다.
제품 사양
- 웨이퍼 크기: 4” (100 mm), 6” (150 mm), 8” (200 mm), 12” (300 mm)
- 재료: SUS 304 / SUS 316L, AL 6061 / AL 7075
- 표면 처리: 전해 연마 (EP), 양극 산화, 기계 연마
- 프로세스 애플리케이션: 에칭, CVD / PVD, CMP, 확산 / 산화
- 가공: CNC 선반 가공 및 밀링
- 허용오차: 최대 ±0.01 mm (도면 기준)
※ 모든 사양은 고객 도면 또는 역설계 샘플을 기반으로 맞춤화됩니다.
문의하기
재료 선택, 장비 호환성 또는 맞춤 가공 지원에 대해서는 저희에게 문의해 주십시오:
에칭, CVD/PVD 및 CMP 공정을 위한 정밀 가공 반도체 엣지 링 | PEEK & PI 플라스틱 CNC 가공 제조업체 | Shen-Yueh (SYT)
2006년부터 대만에 위치한 Shen-Yueh Technology Co., Ltd.는 금속 가공 산업에서 CNC 플라스틱 및 금속 가공 제조업체로 활동하고 있습니다. 그들의 주요 CNC 가공 공급품에는 엣지 링, CNC 플라스틱 가공, 에어 나이프 생산, PEEK 플라스틱 가공 및 제작, CNC 금속 가공, 폴리이미드(PI) 플라스틱 CNC 가공 및 밀링, 그리고 베어링이 포함되며, 이는 확장된 생산 능력, 짧은 리드 타임 및 더 나은 고객 서비스와 함께 제공됩니다.
Shen-Yueh는 10년 이상의 경험을 가진 CNC 전문 기술자 팀과 협력하는 반도체 장비 및 기계 설계 인력으로 구성되어 있습니다. 생산 과정은 ISO 및 청정 공장 환경에 따라 수행되어 우수한 전문 상담 및 서비스를 제공합니다! 우리는 반도체 및 패널 산업에서 CNC 부품 가공 및 장비 변환 경험에 집중하고 있습니다 (2006년부터). 10년 이상 동안 우리는 디자인, 개발 및 조직 최적화 문제를 해결하고 부품의 수명을 늘리며 많은 고객의 비용을 절감하고 고객의 개발 시간을 단축하기 위해 신속하게 제조 샘플을 제공했습니다.
Shen-Yueh (SYT)는 반도체 제조 부서, 패널 및 종합 산업을 위한 고품질 장비 부품 제조를 제공하고 있으며, 첨단 엔지니어링 기술과 13년의 경험을 바탕으로 각 고객의 요구를 충족합니다.

