Edge Ring 边缘环 | 台湾高品质Edge Ring 边缘环制造商 | 申玥科技股份有限公司
申玥科技是台湾专业制造Edge Ring 边缘环及提供Edge Ring 边缘环服务的优良厂商(成立于西元2006年)申玥科技即是由具有半导体设备及机械加工设计的人员组成，配合经验超过10年的CNC专业技师团队，以及符合ISO精神的生产流程及干净整洁的工厂环境，提供绝佳的专业咨询与服务！自2006年成立至今已经服务超过上百家客户，产业包含半导体、光电、生医、太阳能及其他传统产业。 .
Edge Ring 边缘环
半导体设备边缘环，原厂替代件精密加工
半导体设备边缘环（Edge Ring），可依客户设备型号、晶圆尺寸（4吋～12吋）及制程环境需求进行客制化设计与精密加工，材质涵盖不锈钢（SUS）及铝合金（AL）系列，广泛应用于蚀刻、CVD/PVD、CMP及扩散等半导体关键制程。
产品优点
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原厂备件的最佳替代方案：
面对原厂零件交期长、报价高的困境，我们提供快速响应的客制化制造服务，依设备图面或实品进行逆向工程，从少量打样到批量供货一站完成，让您的产线不再因备料问题而停摆。 -
高精度加工，每件都符合您的标准：
边缘环的几何精度直接影响晶圆边缘均匀性与良率表现。透过CNC精密车铣复合加工，严格管控圆度、平面度与表面粗糙度，
确保每批交付品质稳定一致，让您用得安心。 -
洁净制程管控，减少污染变因：
材料选用进口高纯度SUS 不锈钢或工业级铝合金，不使用回收再生料，加工与包装均符合无尘室规格，确保耗材本身不带入粒子污染（Particle）。 -
降低备料成本，提升设备稼动率：
耐磨损、高精度的制造品质，有效延长Edge Ring 使用寿命，减少更换频率与非计画停机，让维护成本可预期、设备产能最大化，为您的生产效益带来实质提升。
产品规格
- 晶圆尺寸对应：4吋（100mm）、6吋（150mm）、8吋（200mm）、12吋（300mm）
- 材质：不锈钢（SUS 304 / SUS 316L）、铝合金（AL 6061 / AL 7075）
- 表面处理：电解抛光（EP）、阳极处理（Anodizing）、机械抛光（可依需求指定）
- 适用制程：蚀刻（Etch）、薄膜沉积（CVD / PVD）、CMP研磨、扩散／氧化
- 加工方式：CNC精密车铣复合加工
- 尺寸公差：依客户图面规格执行，一般精度可达±0.01mm 内
※ 以上规格均依客户图面或实品逆向工程订制，如有特殊材质、表面处理或尺寸需求，欢迎与我们洽询。
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