不锈钢加工
SUS304 / SUS316 / SUS316L / SUS410 / SUS420 / SUS440 / SUS630
申玥科技制造的不锈钢产品,拥有良好的抗化性,耐酸碱、耐腐蚀,广泛应用于光电的酸槽设备零件,而不锈钢除了耐腐蚀,亦可焊接,及可作各式表面处理,常用于半导体高度腐蚀性气体与液体之制程中,为真空零件经常使用之材料。另外不锈钢中的SUS316/SUS316L因添加了钼元素使其耐腐蚀性特佳,故常用于化学生技行业的制程中,为食品级制程中常用之材质。一般加工精度可达0.01mm(有特殊需求可另依图面讨论)。 不锈钢俗称白铁,通常含有镍铬钼钨等合金元素才能称为不锈钢,表面有一层皮膜使其不易氧化,而不锈钢大致分为200系列、300系列、400系列、500系列与600系列。半导体、光电业常使用的不锈钢有SUS303、SUS304、SUS316、SUS316L、SUS430、SUS440B、SUS630,依其使用环境不同,可使用不同的材质。
细节铝合金加工
A5052 / A5083 / A6061 / A7075 / MIC6
申玥科技制作的铝合金制品泛用于各种产业,如半导体中的上下电极,或光学镜片产业中的载具等,一般制品精度可达0.02mm(有特殊需求可另行讨论)。 铝合金特点为比重轻,仅钢铁材的1/3,可作多种表面处理,如阳极、硬阳、化学镍、铁氟龙镀层、镀金、镀银…且可以染上各种不同的颜色,可应用在各式的场合,不仅美观,且有特殊之耐化学性与绝缘性。 铝合金分类广泛,有铝镁合金(5052、5083)、铝镁矽合金(6061)、铝锌镁合金(7075),MIC6…依使用方式与环境的不同可以使用不同的铝材,如半导体高真空腔体加工、焊接、硬阳,或航太业使用需高硬度之铝材。
细节金属晶舟盒/ 耐高温卡匣
半导体制程中,晶圆在高温制程中,需要金属晶舟当载具,申玥生产的金属晶舟材质为铝合金(AL),应用铝合金的重量轻、钢性佳不易变形、耐高温等特性,完成后再做金属表面的特殊处理,不易产生脏污及沾黏粉尘(Particle)。金属晶舟有设计防滑装置,晶圆制放于金属晶舟内,关上定位杆即可防止晶圆在传送或制程中滑落,定位杆上会包覆耐高温塑胶,避免碰撞造成晶圆异常。
细节铁氟龙晶舟(PTFE Wafer Boat)
半导体制程中,晶圆在酸碱制程中,以铁氟龙晶舟当载具,申玥生产的铁氟龙晶舟,采用特殊的功能设计,在晶圆放制于晶舟后,不会左右晃动,离开酸槽后可以将酸的残留量降至最低。可依客户制程需求设计各尺寸铁氟龙晶舟载具。
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