金属晶舟盒/ 耐高温卡匣
半导体制程中,晶圆在高温制程中,需要金属晶舟当载具,申玥生产的金属晶舟材质为铝合金(AL),应用铝合金的重量轻、钢性佳不易变形、耐高温等特性,完成后再做金属表面的特殊处理,不易产生脏污及沾黏粉尘(Particle)。金属晶舟有设计防滑装置,晶圆制放于金属晶舟内,关上定位杆即可防止晶圆在传送或制程中滑落,定位杆上会包覆耐高温塑胶,避免碰撞造成晶圆异常。
细节铁氟龙晶舟(PTFE Wafer Boat)
半导体制程中,晶圆在酸碱制程中,以铁氟龙晶舟当载具,申玥生产的铁氟龙晶舟,采用特殊的功能设计,在晶圆放制于晶舟后,不会左右晃动,离开酸槽后可以将酸的残留量降至最低。可依客户制程需求设计各尺寸铁氟龙晶舟载具。
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